Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie schnell Dinge aus dem Ruder laufen können. Eine Drift von 1°C beim Softbake des Photoresists verschiebt Ihre CDs. Eine ungleichmäßige Trocknung? So entstehen Wasserflecken, die den Ertrag mindern. Wir haben den Wafer-Oberflächenspannungsmess-Heizer entwickelt, um diese Verluste direkt an der Quelle zu stoppen.
Technisch relevant
Wir verwenden kurzwellige Infrarotstrahlung für eine schnelle, berührungslose Wärmeübertragung, die Wafer und Photoresist direkt trifft. Die Gleichmäßigkeit über den Wafer liegt innerhalb von ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit des Sollwerts beträgt ±0,2°C. Die Ansprechzeit liegt unter 2 Sekunden, sodass die Temperaturkurve das Rezept sauber verfolgt – ohne Überschwingen.
Er arbeitet in Reinräumen der Klasse 1–100 mit ausgasungsarmen Materialien und einem Design, das Partikel vom Wafer fernhält. Die Partikelgenerierung wurde mit ≤0,01 Partikel/cm² bestätigt. Im Einsatz läuft das System 24/7 ohne ungeplante Ausfälle und gewährleistet enge Kontrolle bei Softbake, Hardbake und Aushärtung.
Praktische Wirkung
Beim Wafer-Trocknen beseitigt das NIR-Profil Randperlen und Oberflächenspannungsgradienten, ohne Rückstände zu hinterlassen. In der Lithografie stabilisiert die präzise Softbake-Temperatur die Viskosität und Dicke des Photoresists, was zu besserer Linienbreitenkontrolle und weniger Defekten führt.
Hardbake und Aushärtung gewährleisten eine gleichmäßige Vernetzung, reduzieren Rückstände und verbessern die Haftung. Das Ergebnis sind höhere Erstraten, weniger Nacharbeit und ein stabiler thermischer Budgetrahmen, der die Zykluszeit verkürzt. Der Energieverbrauch sinkt ebenfalls, da der Heizer bedarfsgesteuert arbeitet und keine durchgängig große, heiße Zone hält.
Wichtig vorab Die Installation erfordert eine dedizierte 24 VDC-Versorgung und reinraumgeeignete Verkabelung. Nachrüstungen können je nach eingesetztem Track oder Coater geringfügige mechanische Anpassungen im Freiraum erfordern. Die Rezeptübertragung ist unkompliziert, allerdings sollte im Vorfeld eine mehrpunktige Thermoelement-Messung erfolgen, um die Regelung des Heizers im geschlossenen Regelkreis abzugleichen. Die Inbetriebnahme dauert in der Regel weniger als einen Tag, um Sollwerte und Alarmgrenzen festzulegen.