Eine bessere Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern Seien wir ehrlich: Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist eine Herausforderung. Man muss die...

Auf dem Fertigungsboden kommt der Wafer aus der letzten Spülung – und die Uhr läuft. Wenn der Trocknungserhitzer nicht mithalten kann, bleibt...