در کارخانههای تولید، نوسانات دما تنها مشکلی برای تنظیمات فنی نیست؛ بلکه باعث از بین رفتن ویفرها نیز میشود. اختلاف دمای ۱ درجه سانتیگراد در حین پختن فوتورزیست، باعث تغییر موقعیت ویفرها میشود؛ همچنین خشک شدن ناهمگن ویفرها، باعث ایجاد لکههایی میشود که منجر به کاهش بازده تولید میگردد. لذا، نیاز به گرمایی است که ثابت بماند؛ یعنی گرمایی که در هر شیفت تولیدی یکسان باشد، بهویژه در دماهای بالا.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ گرمکنهای حرارتی با دمای بالا ما، میزان یکنواختی دما در سطح ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند؛ همچنین قابلیت تکرارپذیری بالایی دارند که به تنظیم دقیق فرآیند کمک میکند. طراحی این گرمکنها با استفاده از کوارتز و امواج مادون قرمز، باعث میشود دما به سرعت افزایش یافته و سریعاً ثابت بماند؛ همچنین این گرمکنها باعث کاهش تولید ذرات ناخواسته میشوند. این گرمکنها سازگار با اتاقهای پاکسازی در سطح ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین از موادی با میزان گازدهی کم و اتصالات دربسته برای محافظت از محیط استفاده میشود. این گرمکنها تا ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند، و نوسانات دما کمتر از ۵٪ است؛ یعنی میتوانید بر اساس این میزان، برنامهریزی کنید.
چرا این گرمکنها در کارخانههای تولید مفید هستند؟ در فرآیند خشک کردن ویفرها، افزایش سریع دما باعث کاهش زمان تولید میشود؛ همچنین، پروفایل حرارتی یکنواخت، از فروپاشی الگوهای روی ویفرها جلوگیری میکند. در فرآیندهای پخت نرم و سخت، دما به طور ثابت باقی میماند؛ بنابراین ضخامت فوتورزیست و الگوهای مربوط به لبههای ویفرها در سراسر محموله یکنواخت خواهد بود. در فرآیند بستهبندی، گرمای یکنواخت باعث کاهش حفرهها و بهبود چسبندگی ویفرها میشود؛ در نتیجه، نیاز به کارهای تعمیراتی کمتری وجود دارد. در فرآیندهای پاکسازی و خشک کردن، این گرمکنها باعث خشک شدن کامل ویفرها بدون باقی ماندن هیچ رسیدگی میشوند؛ بنابراین لکههایی ایجاد نمیشود. در نتیجه، دمای محیط ثابت میماند، بازده تولید بالاتر میشود و میتوانید بر اساس آن برنامهریزی کنید.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟ کار در دماهای بالا نیازمند تنظیم صحیح مسیر حرارتی است؛ بنابراین باید از تجهیزات مناسب برای نصب استفاده کنید، فاصلههای لازم را بررسی کنید و روالهای تنظیم دما را اجرا کنید. همچنین، باید منبع تغذیه و کانکتورهای مناسب را برای تجهیزات خود انتخاب کنید؛ همچنین باید سازگاری آنها با فرآیندهای موجود در کارخانه را بررسی کنید. با تنظیم صحیح این تجهیزات، میتوانید از عملکرد مطلوب آنها در طول زمان اطمینان داشته باشید.