در کف کارخانه، میدانید که چقدر سریع ممکن است اوضاع به هم بریزد. یک تغییر دما به اندازه 1°C در پخت نرم فتورزست میتواند سیدیهای شما را جابجا کند. خشک شدن غیر یکنواخت؟ این همان چیزی است که باعث ایجاد لکههای آبی میشود که به عملکرد آسیب میزند. ما دستگاه اندازهگیری تنش سطح ویفر را برای متوقف کردن این ضررها از جایی که شروع میشوند، ساختهایم. آنچه از نظر فنی مهم است ما از مادون قرمز با موج کوتاه برای انتقال حرارت سریع و بدون تماس استفاده میکنیم که به طور مستقیم به ویفر و فتورزست میرسد. یکنواختی در کل ویفر در ±0.1°C باقی میماند و تکرارپذیری نقطه تنظیم در ±0.2°C حفظ میشود. زمان پاسخ کمتر از 2 ثانیه است، بنابراین شیب دما به طور دقیق طبق دستورالعمل دنبال میشود—هیچ افزایشی وجود ندارد. این دستگاه در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 کار میکند، با مواد کم گاز و طراحیای که ذرات را از ویفر دور نگه میدارد. تولید ذرات صفر در ≤0.01 ذره/cm² تأیید شده است. در میدان، این دستگاه به صورت 24/7 کار میکند بدون هیچ زمان غیربرنامهریزی شده، و کنترل دقیقی در سراسر پخت نرم، پخت سخت و پخت نهایی حفظ میکند. چرا در عمل مؤثر است برای خشک کردن ویفر، پروفایل NIR لبههای چسبناک و گرادیانهای تنش سطح را بدون باقیمانده از بین میبرد. در لیتوگرافی، دقت دمای پخت نرم ویسکوزیته و ضخامت فتورزست را پایدار میکند، بنابراین کنترل عرض خط بهبود مییابد و نقصها کاهش مییابد. پخت سخت و پخت نهایی پیوند زنی ثابتی را ارائه میدهد که باعث کاهش ضایعات و افزایش چسبندگی میشود. نتیجه آن، افزایش عملکرد در بار اول، کاهش تعداد دستههای نیاز به بازسازی و یک بودجه حرارتی پایدار است که زمان چرخه را کوتاهتر میکند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا دستگاه گرما را بر اساس نیاز فعال میکند به جای اینکه یک منطقه بزرگ و همیشه داغ را نگه دارد. آنچه باید از قبل بدانید نصب به یک منبع تأمین 24 VDC و سیمکشی مناسب اتاق تمیز نیاز دارد. نوسازیها ممکن است نیاز به تغییرات جزئی در فضای مکانیکی داشته باشند بسته به ریل یا پوششدهندهای که استفاده میکنید. انتقال دستورالعملها ساده است، اما برای همبستگی با کنترل حلقه بسته دستگاه گرما، برنامهریزی برای نقشهبرداری ترموکوپل چند نقطهای از قبل ضروری است. راهاندازی کوتاه است—معمولاً کمتر از یک روز—برای قفل کردن نقاط تنظیم و آستانههای هشدار.