Une manière plus efficace de sécher les wafers MEMS
Soyez honnêtes : sécher les wafers de capteurs MEMS est une tâche complexe. Il faut éliminer l’humidité, mais il ne faut pas laisser de résidus. De plus, il ne faut surtout pas soumettre le matériau à des variations de température excessives. Pendant longtemps, on a simplement utilisé des fours par convection, en espérant que ça suffise. Mais il existe une méthode bien plus efficace.
Nous avons opté pour un chauffage par rayonnement infrarouge à ondes courtes. Au lieu de chauffer toute une pièce remplie d’air juste pour sécher un petit wafer, le rayonnement infrarouge cible directement les molécules d’eau. C’est plus propre, plus rapide, et bien plus efficace.
Vitesse et efficacité
La différence de vitesse est énorme. On passe de minutes à secondes pour terminer le processus de séchage. Comme le flux de chaleur est très concentré, il atteint immédiatement la surface du wafer.
De plus, votre facture d’électricité en sera réduite. Vous ne gaspillez plus d’énergie à chauffer de l’espace inutile. Si votre usine cherche à obtenir des certifications écologiques ou à atteindre des objectifs de neutralité carbone, c’est l’une des solutions les plus simples.
Les composants utilisés
Nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté pour ces chauffages. Pourquoi ? Parce qu’elles peuvent supporter les chocs thermiques sans se briser. Nous recouvrons également les lampes afin d’ajuster leur spectre d’émission. Cela permet au chaud de toucher le wafer à la longueur d’onde exacte nécessaire pour faire partir l’eau.
L’installation est plutôt simple. Vous pouvez les connecter à votre système existant en utilisant des connecteurs industriels standard.
Mais attention : ces lampes dégagent beaucoup de chaleur. Il est donc important que votre système de refroidissement soit suffisamment performant. Sinon, vos composants risquent d’être endommagés.
Ce que cela change réellement
Une fois que vous passerez à cette méthode, vous pourrez vous débarrasser de ces gros systèmes de traitement de l’air et de ces souffleurs bruyants. Votre espace de travail sera libéré, et votre consommation d’énergie diminuera.
Il y a cependant un bémol : la distance entre la lampe et le wafer est importante. Si la lampe est trop proche du wafer, des zones chaudes pourraient apparaître, ce qui serait désastreux. Pour éviter cela, nous conseillons d’utiliser un contrôleur PID en boucle fermée. Ce dernier maintient la température de surface stable dans une fourchette de ±2°C, ce qui vous permet de dormir tranquille en sachant que vos wafers sont en sécurité.