Séchage des wafer sans gaspillage
soyons honnêtes : les fours de type convection traditionnels représentent un véritable cauchemar pour les usines de semi-conducteurs modernes. Ils sont encombrants, consomment beaucoup d’énergie, et ne correspondent pas aux normes écologiques actuelles visant à réduire l’utilisation du plomb.
C’est pourquoi nous utilisons désormais des lampes infrarouges étanches pour l’étape de rinçage. Au lieu de chauffer une grande quantité d’air – ce qui représente en réalité un gaspillage d’énergie – ces lampes ciblent directement le liquide. C’est une méthode bien plus efficace.
Comment ça marche vraiment ?
Pensez-y ainsi : l’air chaud est lent à agir. Les rayonnements infrarouges, eux, fonctionnent différemment : ils utilisent des ondes électromagnétiques qui pénètrent directement dans le liquide de rinçage, faisant vibrer les molécules d’eau qui disparaissent presque instantanément.
Comme ces lampes fonctionnent dans un environnement à haute humidité, nous ne pouvons pas utiliser n’importe quelle ampoule. Nous utilisons donc des enveloppes en quartz hermétiques et des finitions résistantes à l’humidité. Sinon, les filaments s’oxyderaient et brûleraient en quelques jours. Personne ne veut remplacer les lampes tous les mardis…
Protéger la planète
La plupart des systèmes de séchage traditionnels reposent sur des combustibles fossiles ou de gros systèmes de climatisation qui consomment énormément d’énergie. Les lampes infrarouges, quant à elles, fonctionnent avec de l’électricité. Si vous êtes connecté à un réseau d’énergie renouvelable, votre empreinte carbone disparaît pratiquement.
De plus, il n’y a pas de COV ni de solvants chimiques néfastes. C’est donc une solution propre et efficace.
Les défis
Ce n’est pas si simple que ça. Les lampes à haute intensité permettent de faire fonctionner la ligne rapidement, mais leur chaleur est intense. Si la lampe est trop proche du wafer, cela peut provoquer des dommages au substrat. Il faut donc trouver le bon équilibre. Une petite calibration suffit pour éviter de surchauffer le silicium.
Économiser de l’espace
Le meilleur avantage ? Ces systèmes occupent très peu d’espace. Vous obtenez la même puissance de séchage qu’un grand tunnel de convection, mais en occupant seulement une infime partie de la pièce. Cela signifie plus d’espace dans la salle propre, et moins de problèmes liés aux canalisations nécessaires pour l’acheminement de l’eau de rinçage. C’est une solution simple et électrique pour résoudre un problème chimique compliqué.