בחדרי הייצור, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט אינו נחשב ל”שגיאה קטנה”. זו בעיה שפוגעת באיכות המוצר. טמפרטורות האפייה השונות קובעות את הטווח האופטימלי של הממדים של הוואפר; כאשר האחידות התרמית נפגעת, הבחירה באיזו חלק מהוואפר ייעשה חריטה נפגעת גם היא. שיפור מערכת החימום בחדרי הייצור אינו עניין של מראה בלבד – זו בעיה שקשורה לשליטה בתהליך הייצור.
פיתחנו מערכת שמשתמשת בחימום באמצעות קוורץ בטכנולוגיית NIR, עם שליטה בלולאה סגורה, כדי להשיג אחידות בטמפרטורה של הוואפר ברמה של ±0.1°C. המערכת שומרת על אחידות הטמפרטורה במהלך תהליכי האפייה השונים, כך שהפוטורזיסט, החומרים השורדים וצפיפות הקשרים בוואפר נשארים במסגרת המפרטים הנדרשים.
המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג 1–100, ומשתמשת בחומרים עם תכולת חלקיקים נמוכה, וכן במערכת ניקוז שמונעת עלייה במספר החלקיקים במהלך התהליכים התרמיים. האמינות של המערכת נמדדת על ידי זמן הפעולה הרציף – 24/7, עם זמני תחזוקה מתוכננים, ולא עם זמני עצירה בלתי מתוכננים.
למה זה עובד בפועל? שליטה טובה יותר בטמפרטורה מאפשרת אחידות טובה יותר בממדים של הוואפר, ומפחיתה את הצורך בעבודות תיקון. כך ניתן להשיג ביצועים יציבים בתהליכי הליתוגרפיה והחריטה, מכיוון שהתהליך אינו סובל מבעיות פנימיות.
ומה לגבי הצד האנרגטי? המערכת מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות, שומרת עליה ללא סטיות, ומפחיתה את הצריכה האנרגטית לכל סדרת ייצור. זה אומר פחות סטיות בטמפרטורה, זמני עיבוד מהירים יותר, ופחות פסולת – מבלי לשנות את התהליכים הכימיים או את המבנה של הוואפר.
כדאי לשים לב לדברים הבאים בעת ההתקנה: יש לוודא שהמערכת מתאימה לממדי החדר, למערכות הניקוז ולממשקי החשמל. יש לבדוק גם את המתח ואת מפרטי החיבורים בהתאם לציוד הקיים. המערכת מתאימה להתקנה בחדרי ייצור סטנדרטיים, אך היא דורשת אספקת חשמל איכותית כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה.
צפו לתקופת הכנה קצרה כדי להתאים את קצבי העיבוד לסוג הפוטורזיסט שמשמש. לאחר מכן, המערכת תפעל בצורה יעילה.