फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में 0.3°C का अंतर कोई “छोटी गलती” नहीं है… यह तो उत्पादन प्रक्रिया में होने वाली गलती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान का सही नियंत्रण आवश्यक है; क्योंकि जब वेफर पर तापमान संतुलन बिगड़ जाता है, तो एच-इटिंग प्रक्रिया भी गड़बड़ा जाती है। क्लीनरूम में हीटिंग सिस्टम को अपग्रेड करना केवल सौंदर्यगत कारणों से नहीं, बल्कि प्रक्रिया नियंत्रण हेतु आवश्यक है।
हमने ऐसा सिस्टम विकसित किया है, जिसमें NIR-आधारित क्वार्ट्ज हीटर का उपयोग किया गया है, एवं यह सिस्टम वेफर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखता है। यह सिस्टम “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान को स्थिर रखता है; इससे फोटोरेजिस्ट का प्रवाह, अवशिष्ट विलायक, एवं क्रॉसलिंक घनत्व भी निर्धारित मानों के अनुरूप ही रहता है।
यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए उपयुक्त है… क्योंकि इसमें कम कणों वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, एवं थर्मल साइकलिंग के दौरान कणों की संख्या को कम रखने हेतु विशेष व्यवस्था की गई है। इस सिस्टम की विश्वसनीयता 24/7 संचालन में ही मापी जा सकती है… न कि अप्रत्याशित रुकावटों में।
व्यवहार में यह सिस्टम क्यों कारगर है? क्योंकि इसमें तापमान का सटीक नियंत्रण होता है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। इससे लिथोग्राफी एवं एच-इटिंग प्रक्रियाएँ स्थिर रहती हैं… क्योंकि प्रक्रिया अब खुद ही गड़बड़ नहीं करती।
ऊर्जा संबंधी दृष्टि से भी यह सिस्टम लाभदायक है… क्योंकि हीटर तेजी से तापमान पहुँचाता है, उसे स्थिर रखता है… एवं प्रति लॉट में ऊर्जा की खपत कम होती है। इससे कम व्यर्थता होती है, चक्र समय कम होता है… एवं रसायनों में कोई बदलाव नहीं होता।
स्थापना के दौरान ध्यान देने योग्य बातें: चेंबर के आकार, एग्जॉस्ट सिस्टम, एवं बिजली इंटरफेसों को ठीक से मेल करें… एवं वोल्टेज एवं कनेक्टरों संबंधी विवरणों की जाँच अवश्य करें। यह सिस्टम मानक फैब सेटअपों के साथ भी काम करता है… लेकिन तापमान स्थिरता हेतु इसे स्वच्छ बिजली आपूर्ति की आवश्यकता है।
फोटोरेजिस्ट संबंधी प्रक्रियाओं को संतुलित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… थोड़े समायोजनों के बाद ही यह सिस्टम सही ढंग से काम करने लगेगा।