क्यों वायु-आधारित हीटिंग सिस्टम की तुलना में इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम बेहतर है?
यदि आपने सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण का काम किया है, तो आपको हीटिंग संबंधी समस्याओं का अहसास होगा। पुरानी प्रणालियों में वायु-आधारित हीटिंग ही उपयोग में आती है। आपने देखा ही होगा कि वहाँ बड़े-बड़े ब्लोअर लगे होते हैं, जो गर्म हवा को विशेष तापमान तक पहुँचाने की कोशिश करते हैं।
समस्या यह है कि हवा, ऊष्मा को स्थानांतरित करने में बहुत धीमी होती है। इसलिए आपको कई मिनटों तक इंतज़ार करना पड़ता है, जब तक कि चेंबर वांछित तापमान तक न पहुँच जाए। यह समय की बर्बादी है।
इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम का लाभ
इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम में ऐसी कोई समस्या ही नहीं है। इसमें वायु को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है; बल्कि इन्फ्रारेड तरंगें सीधे ही सब्सट्रेट पर पड़ती हैं। इस प्रकार ऊष्मा सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है।
इसके अलावा, क्लीनरूम में यह बहुत ही फायदेमंद है। ऐसी प्रणाली में बड़े-बड़े डक्टों एवं उच्च गति वाली हवा की आवश्यकता ही नहीं है। वायु-आधारित हीटिंग सिस्टम में धूल के कण उड़ने की संभावना रहती है, जो कि बिल्कुल भी वांछनीय नहीं है। इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम में ऐसी समस्याएँ ही नहीं हैं।
अपने लेआउट में इसका उपयोग
जब आप इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम का उपयोग करते हैं, तो आप हर वेफर पर लगने वाले समय की बचत करते हैं। आप कुछ ही सेकंडों में ही ऊष्मा प्रदान कर सकते हैं। इससे आपको तापमान नियंत्रित करने में बहुत ही आसानी होती है। जब आपके पास स्थान कम होता है, लेकिन अधिक ऊष्मा की आवश्यकता होती है, तो यह सिस्टम बहुत ही उपयोगी है।
लेकिन एक समस्या…
इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम में ऊष्मा केवल दृष्टि-रेखा के अंदर ही पहुँच सकती है। यदि आपके सब्सट्रेट की आकृति अजीब है, तो ऊष्मा हर जगह नहीं पहुँच पाएगी। ऐसी स्थिति में आपको अपने लैंपों की स्थिति का ध्यान रखना होगा, या परावर्तकों का उपयोग करके ऊष्मा को उचित जगह तक पहुँचाना होगा।
वास्तविक दुनिया में इसका उपयोग
वायु-आधारित हीटिंग सिस्टम की जगह इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम का उपयोग करने से न केवल ऊर्जा-दक्षता में सुधार होता है, बल्कि आप अधिक सामग्री को भी आसानी से संसाधित कर सकते हैं। आपको हवा के तूफानों से भी छुटकारा मिल जाता है, और आपको चेंबर के तापमान बढ़ने का इंतज़ार भी नहीं करना पड़ता। यदि आप अपने उत्पादन को बढ़ाना चाहते हैं, तो इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम ही सबसे अच्छा विकल्प है।