फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, तापमान में होने वाले बदलाव केवल कैलिब्रेशन संबंधी समस्याओं का कारण ही नहीं हैं; बल्कि ऐसे बदलावों के कारण वेफर नष्ट हो जाते हैं। फोटोरेजिस्ट को सुखाने के दौरान 1°C का भी बदलाव CD में परिवर्तन पैदा कर देता है, और असमान सुखाने के कारण पानी के निशान बन जाते हैं, जिससे उत्पादन में कमी आ जाती है। इसलिए, उच्च तापमान पर भी तापमान को स्थिर रखना आवश्यक है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे उच्च-तापमान वाले हीटर, वेफरों पर तापमान को ±0.1°C की सटीकता के साथ स्थिर रखते हैं। क्वार्ट्ज एवं शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक के कारण तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है, एवं कणों का उत्पादन भी न्यूनतम रहता है। ये हीटर क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप हैं; इनमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, ताकि पर्यावरण की रक्षा हो सके। इन हीटरों का उपयोग 5,000+ घंटों तक किया जा सकता है, एवं उत्पादन में कम से कम 5% की कमी ही होती है।
फैब्रिकेशन प्रक्रिया में इनका क्या लाभ है?
वेफरों को सुखाने के दौरान, तेज़ तापमान वृद्धि से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं स्थिर तापमान के कारण पैटर्नों में कोई परिवर्तन नहीं होता। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी तापमान स्थिर रहता है, जिससे फोटोरेजिस्ट की मोटाई एवं किनारों की संरचना स्थिर रहती है। पैकेजिंग प्रक्रिया में, समान तापमान से खाली जगहें कम हो जाती हैं, एवं चिपकने की क्षमता बढ़ जाती है; इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रियाओं में, ये हीटर बिना किसी अवशेष के वेफरों को सुखा देते हैं; इससे पानी के निशान वेफरों पर नहीं बनते। इसका परिणाम है – स्थिर तापमान, उच्च उत्पादन दर, एवं विश्वसनीय प्रदर्शन।
क्या योजनाएँ बनानी आवश्यक हैं?
उच्च-तापमान पर काम करने हेतु, तापमान नियंत्रण प्रणाली को सही तरीके से व्यवस्थित करना आवश्यक है। उपकरणों को सही तरीके से स्थापित करें, आवश्यक दूरियों की जाँच करें, एवं कैलिब्रेटेड सेटपॉइंट्स का उपयोग करें। पावर सप्लाई एवं कनेक्टरों को उपकरणों के अनुरूप ही चुनें, एवं मौजूदा ओवनों, कोटरों एवं क्यूरिंग उपकरणों के साथ इनकी सुसंगतता की जाँच करें। इन हीटरों की स्थापना सही तरीके से की जाए, तो इनका रखरखाव भी कम हो जाएगा, एवं प्रदर्शन भी विश्वसनीय रहेगा।