Cara yang Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Sejujurnya, mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang sulit. Anda perlu menghilangkan kelembapan dari wafer tersebut, tetapi tidak boleh ada sisa-sisa kelembapan yang tertinggal. Selain itu, suhu yang ekstrem juga harus dihindari agar materialnya tidak rusak. Untuk waktu yang lama, kita hanya menggunakan oven konvektif untuk mengeringkan wafer tersebut. Namun, ada cara yang lebih efektif.
Kita beralih ke penggunaan pemanas berbasis gelombang inframerah pendek (IR). Alih-alih memanaskan seluruh ruangan tempat wafer disimpan, panas dari IR langsung menyerang molekul-molekul air. Cara ini lebih efisien, cepat, dan lebih bersih.
Kecepatan dan Efisiensi
Perbedaan kecepatannya sangat signifikan. Waktu yang diperlukan untuk mengeringkan wafer berkurang dari menit menjadi detik saja. Karena fluks panasnya sangat tinggi, panas tersebut langsung menyentuh permukaan wafer dan segera bekerja.
Selain itu, biaya listrik pun akan berkurang. Anda tidak perlu membuang-buang energi untuk memanaskan ruang kosong. Jika pabrik Anda ingin mendapatkan sertifikasi lingkungan atau mencapai target netral karbon, ini merupakan salah satu cara termudah untuk melakukannya.
Komponen yang Digunakan
Pemanas ini dibuat menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi. Mengapa? Karena kemasan ini mampu bertahan terhadap perubahan suhu yang drastis tanpa retak. Kami juga melapisi lampu tersebut agar spektrum pancaran panasnya sesuai dengan kebutuhan. Dengan demikian, panas akan langsung menyentuh permukaan wafer pada panjang gelombang yang tepat untuk menghilangkan kelembapan.
Pengoperasiannya sangat sederhana. Anda bisa menghubungkannya ke sistem yang sudah ada menggunakan koneksi industri standar.
Namun, perlu diperhatikan bahwa lampu ini memiliki daya yang sangat besar. Pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dihasilkan. Jika sistem pendinginan tidak mampu menyerap panas tersebut, komponen elektronik Anda akan rusak.
Apa yang Berubah Setelah Menggunakan Pemanas Ini
Dengan menggunakan pemanas ini, Anda tidak perlu lagi menggunakan unit pengolahan udara yang besar serta blower berkekuatan tinggi. Ruang yang digunakan pun menjadi lebih efisien, dan konsumsi listriknya berkurang.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika jaraknya terlalu dekat, akan timbul titik-titik panas yang berbahaya. Untuk mengatasi hal ini, kami menyarankan penggunaan kontroler PID. Kontroler ini akan menjaga suhu permukaan wafer tetap stabil dalam rentang $\pm 2^\circ\text{C}$. Dengan begitu, Anda bisa tenang karena wafer Anda aman.