Mengeringkan Wafer Tanpa Pemborosan Energi
Sejujurnya, oven konveksi tradisional merupakan masalah besar bagi pabrik semikonduktor modern. Oven tersebut berukuran besar, membutuhkan banyak energi, dan tidak sesuai dengan standar ramah lingkungan yang digunakan saat ini.
Oleh karena itu, kita beralih menggunakan lampu inframerah tahan air untuk proses pembersihan wafer. Alih-alih menghangatkan udara dalam jumlah besar—yang pada dasarnya merupakan pemborosan energi—lampu ini langsung menyinari cairan yang ada di permukaan wafer. Ini merupakan cara yang jauh lebih efisien.
Cara kerjanya
Bayangkan saja: udara panas memiliki kecepatan yang lambat. Sedangkan radiasi inframerah berbeda. Radiasi ini menggunakan gelombang elektromagnetik yang langsung menembus cairan yang ada di permukaan wafer, sehingga molekul-molekul air bergetar dan menguap dalam waktu singkat.
Karena lampu ini berada dalam lingkungan bertekanan tinggi, kita tidak bisa menggunakan bohlam biasa. Kita harus menggunakan kemasan kuarsa yang tahan air serta komponen-komponen yang tahan kelembapan. Jika tidak, filamen lampu akan teroksidasi dan rusak dalam beberapa hari saja. Tidak ada yang ingin mengganti lampu setiap hari Selasa.
Lindungi Planet Bumi
Sebagian besar sistem pengeringan tradisional bergantung pada bahan bakar fosil atau sistem HVAC yang sangat boros energi. Sedangkan lampu inframerah bekerja menggunakan listrik. Jika sistem listriknya berasal dari sumber energi terbarukan, maka jejak karbon yang dihasilkan akan hilang.
Selain itu, tidak ada zat berbahaya seperti VOC atau pelarut kimia yang keluar dari lampu ini. Ini merupakan solusi yang ramah lingkungan.
Bagian yang rumit
Namun, hal ini bukanlah solusi yang sederhana. Lampu berintensitas tinggi memang efektif untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi panas yang dihasilkannya sangat tinggi. Jika lampu terlalu dekat dengan wafer, substratnya bisa rusak akibat tekanan termal.
Kita perlu menyesuaikan jarak antara lampu dan wafer dengan tepat. Sedikit kalibrasi saja sudah cukup untuk mencegah silikon menjadi terlalu panas.
Menghemat Ruang
Yang paling bagus adalah sistem ini membutuhkan ruang yang sangat sedikit. Kita masih bisa mendapatkan daya pengeringan yang sama seperti oven konveksi biasa, tetapi volumenya jauh lebih kecil. Artinya, ruang di ruang bersih menjadi lebih luas, dan tidak perlu repot-mrepot memasang saluran pembuangan air. Ini merupakan solusi sederhana untuk masalah kimia yang rumit.