真空チャンバー用赤外線ヒーター

はじめに こんな状況を想像してみてください。高負荷の真空チャンバーを運用していると、小さなヒーターランプが壊れてしまいます。そうなると、全体の作業が停止してしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハが汚染されてしまうのです。 まさにそのために、私たちは真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発したの...