웨이퍼를 깨끗하게 유지하기: IR 램프 고장의 진실
대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 재앙과도 같습니다. 만약 적외선 램프가 실리콘 웨이퍼 바로 위에서 고장 난다면, 단순히 가동 중단 문제만 있는 것이 아니라, 유리 조각들과 화학 물질들이 제품 위로 떨어집니다. 이는 2차 오염으로, 엄청난 문제가 됩니다. 우리는 이러한 상황을 막기 위해 특별히 금 반사체가 장착된 IR 램프를 개발했습니다.
금이 왜 중요한가?
대부분의 경우 알루미늄 반사체가 사용되지만, 이는 너무 많은 에너지를 흡수합니다. 우리는 대신 고순도 금 코팅을 사용했습니다. 이 방식의 장점은 적외선을 훨씬 더 효율적으로 전달할 수 있다는 점입니다. 열 밀도가 높아져서, 낮은 내부 온도에서도 동일한 열 효과를 얻을 수 있습니다. 이는 일거양득입니다. 석영 관도 스트레스를 받지 않으므로, 반복적인 작동 시에도 균열이 생길 가능성이 줄어듭니다.
“폭발”을 막는 방법
우리는 급격한 전력 변화로 인한 충격을 견딜 수 있도록 두꺼운 벽의 융합 석영을 사용합니다. 하지만 그だけ으로는 부족합니다. 우리는 보호용 쉘도 추가로 설치했습니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 내부 램프가 고장 나더라도, 이 쉘이 모든 파편을 막아줍니다. 그러면 웨이퍼에 유리 가루가 묻는 일은 없습니다.
또한, 연결 부위도 중요합니다. 만약 밀폐성이 떨어지면 산소가 할로겐 가스와 섞여 들어가고, 그 결과 램프가 파손될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 모든 연결 부위를 진공 상태에서 테스트하여 할로겐 가스가 제자리에 머물도록 합니다.
주의사항
고출력 램프는 매우 뜨거워집니다. 금 반사체가 그 열 에너지를 좁은 공간에 집중시키기 때문에, 냉각 시스템을 잘 관리해야 합니다. 만약 공기 흐름이 원활하지 않으면, 소켓 부분에 열이 쌓여서 배선이 손상될 수 있습니다. 그러면 아크가 발생할 수 있으며, 이는 결코 원하는 상황이 아닙니다. 냉각 시스템을 잘 관리한다면, 이 램프들은 오랫동안 사용될 수 있습니다.