안전을 위해: 화학 처리 구역에서의 적외선 히터 사용
반도체 세척 작업을 할 때는 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 사용되는 용매들은 스파크가 발생하면 엄청난 위험을 초래할 수 있습니다. 적외선 히터를 이러한 환경에 사용한다면 상황은 더욱 심각해집니다. 아주 작은 전기 누출이나 스파크만 있어도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
일반적인 배선으로는 이런 상황을 감당할 수 없습니다. 그래서 우리는 테플론으로 코팅된 배선과 견고한 밀봉 처리를 사용하여 전기가 용매와 접촉하지 않도록 합니다.
왜 테플론인가?
대부분의 플라스틱은 산에 약합니다. 웨이퍼 세척 과정에서 사용되는 강한 화학물질들은 일반적인 절연재를 파괴하거나 녹여버립니다. 하지만 테플론은 달라요. 가장 강력한 세척제가 닿아도 테플론은 변형되지 않으며, 전류가 제자리에 머물게 해줍니다.
우리는 전선을 고온에 견딜 수 있는 테플론으로 감싸서 절연재가 손상되는 것을 막습니다. 용매가 많은 환경에서 단 한 번의 단락이라도 발생하면 큰 문제가 생길 수 있기 때문입니다. 이러한 연결 부위를 철저히 밀봉함으로써 스파크가 발생하는 것을 사전에 방지할 수 있습니다.
단점
물론, 이러한 보호층을 사용하면 열 저항이 증가합니다. 그래서 히터가 가열되는 데 약간의 시간이 더 걸립니다. 하지만 건물이 안전하게 유지되는 데는 그만한 대가가 필요합니다.
우리는 이 히터들이 화학 물질의 영향을 받으면서도 할로겐 필라멘트가 안전하게 보호될 수 있도록 설계했습니다. 다만 주의할 점은 전원 공급 장치를 잘 확인해야 한다는 것입니다. 전압이 히터의 사양과 정확히 일치해야 합니다. 만약 과전압이 가해지면 내부에 압력이 생겨 석영 커버가 깨질 수 있습니다.
설치 시 주의사항
이 히터들을 설치할 때는 연결 부위의 밀봉 상태를 반드시 확인해야 합니다. 설치 과정에서 테플론 코팅이 손상되면 보호 기능이 사라집니다. 마치 비옷에 구멍이 난 것과 같습니다. 구멍이 생기면 화학물질이 들어올 수 있습니다. 규정된 부품을 사용하여 밀봉을 철저히 해야 합니다.