MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 솔직히 말해서, MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거해야 하지만, 어떠한 잔여물도 남겨서는 안 되며, 엄청난 온도 변화로 인해 웨이퍼가 손상되어서도 안 됩니다. 오랫동안 우리는 그...

반도체 제조 현장에서, 웨이퍼가 최종 린스 과정을 거쳐 나오면 동시에 시간이 시작된다. 건조 히터가 요구 속도를 맞추지 못하면 포토레지스트 아래에 수분이 갇히게 되고, 이는 수시간 후 리소그래피 공정에서 결함으로 나타난다. 당사의 MEMS 웨이퍼 건조 히터는 이러한...