Op de productielijn is een verschil van 0,5°C in de baktemperatuur al voldoende om de kritieke afmetingen enigszins te veranderen. Dit kan leiden tot afwijkingen die niet binnen de gestelde specificaties vallen. Zowel ‘zachte’ als ‘harde’ bakprocedures zijn geen simpelweg ‘verhittingsstappen’. Ze bepalen namelijk het thermische schema voor de hele lithografieketen.
Wat er echt toe doet We gebruiken infraroodlampen met een goudlaag. Deze lampen geven nauwmonochromatisch licht uit, waardoor de chip rechtstreeks wordt opgewarmd, met minimale belasting op het substraat. De goudlaag zorgt voor hoge reflectiviteit en stabiele emissiviteit over het hele bereik van het gebruikte licht. Hierdoor blijft de uniformiteit van de chip binnen ±0,1°C.
We stellen de instellingen van de lamp zo in dat deze binnen seconden het gewenste temperatuurniveau bereikt en dit niveau behoudt. Het temperatuurprofiel blijft constant – het wordt bepaald door de specificaties van het proces, en niet door omstandigheden in de ruimte.
Waarom dit werkt in de productie In schone ruimtes van klasse 1–100 kan het ontstaan van deeltjes het proces bederven. De goudlaag en de gesloten constructie zorgen ervoor dat er geen gasontwikkeling of afbladdering optreedt, waardoor het mogelijk is om met weinig deeltjes te werken.
Een snelle opwarmtijd verkort de cyclustijd. Bovendien zorgt een stabiele temperatuurregeling voor minder problemen met fotoresistenten en residuele oplosmiddelen. Hierdoor zijn de lijnen consistent, zijn er minder herwerkingsmomenten nodig en is de energieverbruik voorspelbaar. We hebben apparaten gezien die meer dan 5.000 uur lang functioneerden, met minder dan 5% daling in de productie – minder vervangingen en minder onverwachte stilstanden.
Wat je moet controleren bij de installatie Deze lampen zijn compatibel met internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Toch zijn er nog steeds toleranties die in acht moeten worden genomen. Controleer de benodigde ruimte voor de montage, de compatibiliteit van de stroomvoorziening en de verbindingen tussen de onderdelen.
Voor optimale uniformiteit moet de lamp goed passen in de reflectorkamer. Ook moet het temperatuurbestuurssysteem goed gekoppeld zijn aan de sensoren die het proces monitoren. Plan bovendien een gecontroleerde afkoeling in – zo wordt de laag beschermd en blijft de lange termijn-stabiliteit gewaarborgd.