Op de productielijn is temperatuurschommeling geen probleem dat alleen maar invloed heeft op de kalibratie. Het kan zelfs leiden tot beschadigde wafers. Een verschil van 1°C tijdens het bakken van de fotoresist zorgt voor afwijkingen in de vorm van de wafers. Ongelijkmatig drogen veroorzaakt ook problemen, waardoor de kwaliteit van de producten achteruit gaat. Er is dus behoefte aan een constante temperatuur – stabiel en herhaalbaar, shift na shift – vooral op hoge temperaturen.
Wat technisch gezien belangrijk is
Onze hitteverwarmers voor hoge temperaturen zorgen ervoor dat de temperatuur op het niveau van de wafers rond de ±0,1°C blijft. De nauwkeurigheid is zo hoog dat dit de procesparameters kan worden bepaald. Het kwarts- en kortegolfröntdesign zorgt ervoor dat de temperatuur snel wordt bereikt en stabiel blijft. Hierdoor wordt ook de vorming van deeltjes tot een minimum beperkt. De warmers zijn compatibel met cleanrooms van klasse 1–100. Ze maken gebruik van materialen met weinig uitstoot en hebben afgesloten verbindingen om de omgeving te beschermen. De warmers hebben al meer dan 5.000 uur gewerkt, met een temperatuurschommeling van minder dan 5%. Dit betekent dat de warmers betrouwbaar kunnen worden gebruikt.
Waarom ze nuttig zijn in de productie
Bij het drogen van wafers verkort de snelle temperatuurstijging de cyclustijd. Bovendien zorgt de stabiele temperatuur er voor dat er geen afwijkingen in de vorm van de wafers optreden. Tijdens het zacht en hard bakken blijft de temperatuur stabiel, zodat de dikte van de fotoresist en de vorm van de randen constant blijven. Voor het verven van de wafers zorgt de constante temperatuur voor een goede hechting, waardoor minder herwerk nodig is. Tijdens het schoonmaken en drogen zorgen de warmers ervoor dat er geen resten achterblijven, zodat er geen problemen ontstaan. Het resultaat is een stabiele temperatuur, een hogere kwaliteit van de producten en een betrouwbare productiecapaciteit.
Wat je moet plannen
Omdat deze warmers op hoge temperaturen moeten werken, moet je ervoor zorgen dat de thermische paden goed zijn ingesteld. Plan voor een goede mounting, controleer de afstanden tussen de onderdelen en voer een kalibratieprocedure uit. Zorg dat de stroomvoorziening en connectors goed passen bij je apparatuur. Controleer ook of de warmers compatibel zijn met je bestaande ovens, coatingapparaten en curingcellen. Als alles goed is ingesteld, zullen de warmers minimaal onderhoud nodig hebben en altijd dezelfde prestaties leveren.