Лучший способ сушки пластин для MEMS-датчиков
Честно говоря, сушка пластин для MEMS-датчиков — это сложная процедура. Необходимо удалить всю влагу, но при этом не допускать наличия каких-либо остатков. Также важно избегать резких изменений температуры, которые могут повредить материал. Долгое время мы просто помещали эти пластины в конвекционные печи, надеясь на лучшее. Но существует гораздо более эффективный способ.
Мы перешли на использование инфракрасного обогрева коротких волн. Вместо разогрева всей комнаты для сушки крошечной пластины, инфракрасное излучение направляется непосредственно на молекулы воды. Этот метод более чистый, быстрый и эффективный.
Скорость и энергоэффективность
Разница в скорости огромна: время обработки сокращается с минут до секунд. Благодаря высокой концентрации тепла, оно сразу же воздействует на поверхность пластины. Кроме того, это снижает расходы на электроэнергию. Вы не тратите киловатты на обогрев пустого пространства. Если ваш завод стремится получить сертификаты экологической безопасности или достичь целей по снижению выбросов углерода, это один из самых простых способов этого добиться.
Как устроены такие обогреватели
Мы используем обогреватели с корпусами из высокочистого кварца. Почему? Потому что они могут выдерживать резкие перепады температур без повреждений. Также лампы покрыты специальным слоем для регулировки спектра излучения. Это обеспечивает точное воздействие тепла на поверхность пластины.
Установка таких обогревателей довольно проста: их можно подключить к существующей схеме с использованием стандартных промышленных разъемов.
Но есть один нюанс: лампы выделяют большое количество тепла. Необходимо убедиться, что система охлаждения способна справиться с этим нагрузкой. Если теплообменники не смогут удалять лишнее тепло от электронных компонентов, это может привести к их повреждению.
Что это дает
После перехода на такой способ сушки можно избавиться от громоздких устройств для обработки воздуха и шумных насосов. Это освобождает пространство и снижает расход электроэнергии.
Однако есть одно условие: расстояние между лампой и пластиной должно быть определенным. Если лампа находится слишком близко к пластине, возникают «горячие точки», что может привести к повреждению пластин. Чтобы избежать этого, рекомендуется использовать контроллер PID с замкнутым циклом. Он сохраняет температуру поверхности в пределах ±2°C, что позволяет быть уверенным в безопасности пластин.