Сокращение выбросов углерода в процессе полунагрева: все дело в том, куда идет тепло
На производствах полупроводников критически важна точность. Но долгое время мы использовали традиционные резистивные нагреватели, которые по сути функционируют как огромные обогреватели – они действительно нагревают пластину, но при этом тратят много энергии на нагрев всей конструкции аппарата.
Мы отходим от такого подхода. Переход на инфракрасное нагревание довольно прост: можно быстрее довести поверхность до нужной температуры, не тратя энергию на нагрев воздуха вокруг нее.
Почему конструкция корпуса имеет значение
У вас может быть лучший нагреватель в мире, но он бесполезен без подходящего корпуса. Мы используем высококачественную нержавеющую сталь для изготовления корпусов, потому что она способна выдерживать постоянные изменения размеров из-за температурных циклов без деформации.
Но дело не только в долговечности. Корпус служит своего рода зеркалом – мы тщательно рассчитываем форму стальной пластины, чтобы инфракрасные лучи падали прямо на пластину. Таким образом тепло не распространяется по всей комнате. И вот в чем настоящая выгода: когда в комнате прохладнее, системе вентиляции не нужно прилагать усилия для ее охлаждения. Именно это позволяет сократить количество выбрасываемого углерода.
Прекратите тратить киловатты
Инфракрасное излучение отличается от других видов тепла – это излучаемое тепло. Вместо того чтобы нагревать воздух и надеяться, что тепло в конце концов достигнет цели, инфракрасные лучи направляются прямо на цель.
Мы разрабатываем такие системы, чтобы минимизировать время, необходимое для нагрева. Чем меньше времени устройство тратится на нагрев, тем меньше киловатт-часов тратится на обработку одной пластины. Это значительно экономит энергию.
Но есть и недостатки: необходимость контроля за теплом
У высокоплотных инфракрасных элементов возникают очаги высокой температуры. Даже если корпус из нержавеющей стали отражает большую часть энергии, задняя часть устройства все равно подвергается нагреву. Нельзя просто поместить такие устройства в старый корпус и рассчитывать на успех. Необходимо убедиться, что система охлаждения сможет справиться с такой нагрузкой.
Здесь критически важна точность. Если корпус не изготовлен с точными параметрами, возникают очаги высокой температуры. А это приводит к неравномерному нагреву, что в свою очередь приводит к потере качества продукции.
Поэтому мы придаем огромное значение качеству сварных соединений и качеству поверхности. Это обеспечивает стабильное отражение излучения на протяжении тысяч циклов, что позволяет быть уверенным в качестве готовой продукции.