На производственном участке отклонения температуры во время процедур нагрева пластин и обработки фотополимеров не сопровождаются какими-либо предупреждающими сигналами. Они проявляются в изменении ширины линий на поверхности пластины, слабом сцеплении составляющих материала и снижении качества готовой продукции — что становится очевидно лишь при электрических тестах. Мы разработали лампы с инфракрасным излучением таким образом, чтобы предотвратить подобные отклонения ещё на начальном этапе.
Что важно внутри системы
Система использует источники коротковолнового инфракрасного излучения с быстрореагирующей кварцевой оболочкой; это позволяет быстро и без контакта передавать тепло на поверхность пластины. Уровень однородности температуры в зоне обработки составляет ±0,1°C, а точность повторяемости процесса — 0,2°C. Процессы мягкого и жесткого нагрева контролируются строго, что обеспечивает чистое удаление растворителей и правильную связывание молекул без образования сетчатой структуры.
Мы обеспечиваем условия класса чистоты 1–100 благодаря использованию конструкции с низким содержанием частиц: корпус лампы запечатан, вентиляция изолирована, а горячие поверхности защищены от попадания частиц.
Почему система работает эффективно в реальных условиях
В процедуре нагрева лампа позволяет быстро достигать нужной температуры, тем самым сокращая время обработки без негативного воздействия на элементы соединений. В процессе литографии такая же энергетическая плотность способствует стабильному мягкому и жесткому нагреву, что помогает стабилизировать размеры деталей и уменьшить появление нежелательных отложений.
Вы получаете надежную работу 24/7, причем периоды технического обслуживания минимальны. Кроме того, экономится энергия, поскольку источник нагрева работает напрямую с объектом обработки, а не с всей камерой. Это позволяет расширить возможности процесса, снизить количество браков и ускорить время обработки.
Практические детали
Излучение лампы идет по линии видимости, поэтому необходимо соответствующим образом настроить ориентацию пластины и скорость перемещения стола. Для правильной настройки потребуется небольшой период тестирования.
Лампа работает с стандартными интерфейсами SEMI, но для её использования в старых установках может потребоваться изменение конструкции зоны нагрева и параметров процесса. Необходимо также правильно спланировать потоки воздуха в чистой комнате, чтобы вентиляция могла справляться с пиковыми нагрузками во время процесса нагрева.