Сушка пластин без отходов
Честно говоря, традиционные конвективные печи представляют собой настоящую проблему для современных заводов по производству полупроводников. Они занимают много места, потребляют большое количество энергии, и их использование не соответствует требованиям к экологичным технологиям.
Поэтому мы перешли на использование водонепроницаемых инфракрасных ламп для этапа промывки. Вместо того чтобы нагревать огромное количество воздуха — что является пустой тратой электроэнергии — эти лампы направляют свое излучение прямо на жидкость. Это гораздо более эффективный способ.
Как это работает
Представьте себе: горячий воздух движется медленно. Инфракрасное излучение работает иначе: оно использует электромагнитные волны, которые проникают прямо в жидкость, находящуюся на поверхности пластины. Это заставляет молекулы воды вибрировать, что приводит к их мгновенному испарению.
Поскольку эти лампы работают в условиях высокой влажности, нельзя использовать обычные лампочки. Необходимо использовать герметичные кварцевые корпуса и элементы, устойчивые к влаге. В противном случае нити лампы окисляются и сгорают уже через несколько дней. Никто не хочет постоянно заменять лампы.
Забота о планете
Большинство традиционных систем сушки работают на ископаемом топливе или мощных системах кондиционирования воздуха, которые потребляют много энергии. Инфракрасные лампы работают от электричества. Если вы подключены к сети, генерирующей возобновляемую энергию, ваш углеродный след практически исчезает.
К тому же не возникает проблем с вредными веществами или химическими растворителями. Это просто чистая энергия, которая выполняет свою работу.
Сложности
Однако все не так просто. Лампы с высокой интенсивностью излучения отлично подходят для ускорения процесса сушки, но при этом они создают сильное тепло. Если лампа находится слишком близко к пластине, это может привести к тепловому стрессу для самой пластины. Необходимо точно контролировать расстояние между лампой и пластиной. Небольшая калибровка поможет избежать перегрева кремния.
Экономия пространства
Самое лучшее в этих системах — то, что они занимают очень мало места. Вы получаете такую же эффективность сушки, как и при использовании больших конвективных туннелей, но при этом занимается гораздо меньше места. Это позволяет освободить место в чистой комнате и уменьшить сложности, связанные с подачей воды для промывки. Это простое решение для решения проблем, связанных с использованием химикатов.