MEMS sensör yonga kurutma ısıtıcısı
MEMS wafer’lerini kurutmanın daha iyi bir yolu
Dürüst olalım: MEMS sensör wafer’lerini kurutmak oldukça zor bir iş. Nemin tamamen giderilmesi...
MEMS wafer kurutma ısıtıcısı
On the fab floor, wafer son durulama işleminden çıkar ve zaman başlar. Kurutma ısıtıcısı yeterince hızlı değilse, fotoresist altında nem kalır ve bu,...