На заводі з виробництва чіпів коливання температури є не просто проблемою калібрування – вони призводять до зіпсованих чіпів. Навіть незначне зміщення температури на 1°C під час процедури висушування фотолаку призводить до зміни його параметрів, а нерівномірне висушування залишає сліди, які погіршують якість продукції. Потрібна стабільна температура – постійна та точна, незалежно від циклів виробництва, особливо на високих температурах.
Що є важливим з технічної точки зору
Наші нагрівачі для високотемпературного використання забезпечують стабільність температури на рівні ±0,1°C, що дозволяє контролювати процес виробництва. Кварцовий та короткохвильовий інфрачервоний дизайн дозволяє швидко досягти потрібної температури, швидко її стабілізувати та уникнути утворення частинок. Пристрої сумісні з класами чистоти 1–100; їх конструкція передбачає використання матеріалів з мінімальним вивільненням газів та герметичні з’єднання для захисту середовища. Установки працюють більше 5 000 годин без значних змін параметрів – це саме той рівень надійності, на який можна розраховувати.
Чому це важливо на заводі
Під час висушування чіпів швидке підвищення температури скорочує час обробки, а стабільна температура запобігає змінам у параметрах фотолаку. Під час процедур „м’якого“ та „жорсткого“ висушування температура залишається стабільною, тож товщина фотолаку та його параметри залишаються однаковими для всіх чіпів. Під час ущільнення чіпів стабільна температура запобігає утворенню порожнин та покращує зчеплення, що значно зменшує кількість необхідних корекцій. Під час очищення та висушування нагрівачі забезпечують безслідне висушування, тож жодні залишки не потрапляють у продукцію. Результатом є стабільні параметри температури, вища якість продукції та надійна продуктивність.
Що потрібно враховувати
Робота при високих температурах вимагає правильної організації теплових процесів. Слід правильно вибрати місце розташування нагрівачів, перевірити відстані між ними та виконати процедуру калібрування. Також необхідно підібрати підходяще джерело живлення та кабелі, а також переконатися у сумісності з існуючими печами, пристроями для нанесення матеріалів та пристроями для ущільнення чіпів. Правильна інсталяція забезпечить мінімальне обслуговування та стабільну роботу нагрівачів.