Сушіння пластин без втрат
Будемо чесні: традиційні конвективні печі є справжнім кошмаром для сучасних заводів з виробництва напівпровідників. Вони мають великі розміри, споживають багато енергії, і їх використання не відповідає сучасним стандартам екологічності.
Саме тому ми перейшли на використання водонепроникних інфрачервоних ламп для етапу промивання. Замість того, щоб нагрівати велику кількість повітря – що є марною тратою електроенергії – ці лампи безпосередньо впливають на рідину. Це значно ефективніший спосіб.
Як це функціонує
Уявіть собі таке: гаряче повітря рухається повільно. Інфрачервоне випромінювання ж працює інакше – воно використовує електромагнітні хвилі, які проникають прямо в рідину, що знаходиться на пластині, змушуючи молекули води коливатися та майже миттєво зникати.
Оскільки ці лампи знаходяться в середовищі з високою вологістю, ми не можемо використовувати звичайні лампи. Ми використовуємо герметичні кварцові корпуси та елементи, стійкі до вологи. Якщо цього не робити, філаменти будуть окислюватися та згоряті протягом кількох днів. Ніхто не хоче постійно замінювати лампи.
Екологічність
Більшість традиційних систем сушіння використовують викопне паливо чи потужні системи вентиляції, які споживають велику кількість енергії. Інфрачервоні лампи працюють від електроенергії. Якщо ви підключені до мережі з відновлюваними джерелами енергії, ваш викид вуглецю практично зникає.
Крім того, не утворюється жодних шкідливих речовин чи хімічних розчинників. Це просто чиста енергія, яка виконує свою роль.
Проблеми
Хоча все це здається простим, насправді все не так просто. Лампи високої потужності дозволяють прискорити процес сушіння, але призводять до високих температур. Якщо лампа знаходиться занадто близько до пластини, це може призвести до термічних пошкоджень матеріалу.
Потрібно точно контролювати відстань між лампою та пластиною. Невелика калібрування допомагає уникнути перегріву кремнію.
Економія простору
Найкраще те, що ці системи займають мінімум простору. Ви отримуєте таку саму потужність сушіння, як і в великих конвективних тунелях, але займається лише мала частина приміщення. Це означає більше простору в чистій кімнаті та менше проблем з системою подачі рідини для промивання. Це просте електричне рішення складної хімічної проблеми.