Trong quy trình sản xuất, một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer thành vài nanomet, từ đó khiến chất lượng sản phẩm không đạt tiêu chuẩn. Các bước nung ở nhiệt độ thấp hay cao không chỉ đơn thuần là những bước làm nóng thông thường; chúng quyết định mức nhiệt cần thiết cho toàn bộ quy trình lithography.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình vận hành
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại được phủ lớp vàng, giúp phát ra ánh sáng hồng ngoại gần như đơn sắc. Ánh sáng này giúp làm nóng wafer một cách hiệu quả, mà không gây áp lực lên bề mặt wafer. Lớp vàng có khả năng phản xạ ánh sáng cao và tỷ lệ phát sáng ổn định trong toàn bộ dải tần số hoạt động, nhờ đó độ đồng đều của nhiệt độ trên wafer được duy trì ở mức ±0,1°C.
Chúng tôi điều chỉnh cấu trúc của bóng đèn, hình dạng của sợi dây tóc và khả năng phản ứng nhiệt, sao cho bóng đèn có thể đạt đến nhiệt độ cần thiết trong vài giây, đồng thời duy trì nhiệt độ đó một cách ổn định. Điều này giúp đảm bảo tính ổn định của quy trình sản xuất, mà không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố bên ngoài.
Tại sao chúng vẫn hoạt động tốt trong môi trường sản xuất
Trong các phòng sạch loại 1–100, sự xuất hiện của các hạt bụi có thể phá hủy quy trình sản xuất. Lớp vàng phủ trên bóng đèn giúp kiểm soát việc thoát khí và sự bong tróc của lớp phủ, từ đó giúp duy trì môi trường sản xuất ít bụi bẩn.
Việc nâng nhiệt độ nhanh giúp rút ngắn thời gian sản xuất, trong khi việc kiểm soát nhiệt độ ổn định giúp giảm thiểu các hiện tượng liên quan đến lớp phủ bảo vệ wafer và sự biến đổi của dung môi còn sót lại. Nhờ đó, chiều rộng của các đường kẻ trên wafer được duy trì ổn định, giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa, và giúp kiểm soát mức tiêu thụ năng lượng một cách chính xác. Chúng tôi đã chứng kiến các bóng đèn này hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ mà mức suy giảm chất lượng sản phẩm chỉ dưới 5% – điều này giúp giảm chi phí thay thế bóng đèn và giảm thời gian ngừng máy không mong muốn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt
Các bóng đèn này có thể thay thế cho các thiết bị semiconductors tiêu chuẩn quốc tế, nhưng vẫn cần phải chú ý đến các yêu cầu kỹ thuật khi lắp đặt. Hãy kiểm tra kỹ khoảng cách lắp đặt, tính tương thích của các dây điện, và cấu trúc kết nối giữa các bộ phận.
Để đạt được độ đồng đều tốt nhất, hãy đảm bảo rằng bóng đèn được lắp đặt đúng vị trí so với phần phản xạ ánh sáng, đồng thời đảm bảo rằng các cảm biến đo nhiệt độ được kết nối chính xác với bóng đèn. Ngoài ra, hãy lên kế hoạch cho quá trình làm mát một cách kiểm soát được, nhằm bảo vệ lớp phủ trên bóng đèn và duy trì tính ổn định của nó trong thời gian dài.