控制智能工厂中的加热过程
如果你正在打造一个智能工厂，那么你一定已经意识到，那些传统的加热系统已经无法满足需求了。使用旧式的加热设备来驱动高科技、数据驱动的制造流程是不可能的。你需要的是能够高效工作的加热系统。
这时，红外线加热技术就派上用场了。它是最快的将晶圆加热到所需温度的方法，因此对于需要精确控制温度的场景来说，它无疑是最佳选择。
红外线加热的原理
我们使用短波红外线发射器，因为它们不会造成任何干扰。与对流式加热不同——后者只是通过加热空气来达到效果——红外线则直接将能量传递到晶圆表面，无需中间介质。这样一来，就不必浪费时间去加热整个腔体，升温速度极快。如此一来，既能节省能源，又能节省时间。
实现“智能化”控制
当人们谈论“数字化集成”时，听起来好像是在推销产品。但实际上，它指的是一个有效的反馈机制。我们设计的系统可以直接与PLC控制器相连，这些控制器可以实时监测晶圆表面的温度，并通过SCR元件调整加热功率。这样，就能将温度控制在±1°C范围内。这无疑是个巨大的优势，因为不必再担心晶圆变形或掺杂不均匀的问题。
工程上的挑战及解决方案
不过，这并不是什么神奇的技术。高密度的红外线阵列会释放出大量热量。如果不加以控制，这些热量就会渗透到设备的其他部分。如果冷却系统无法承受这种热量，那么设备的温度就会发生变化。为了解决这个问题，我们会使用低热导率的支架，从而在加热器和设备框架之间形成一道“屏障”，让热量不会扩散出去。
为什么要更换加热方式？
用红外线加热器替换那些笨重的电阻式加热器，不仅能加快升温速度，还能节省空间。这些红外线加热器可以替代原来的加热器，从而将预热时间缩短60%。这意味着设备有更多的时间用于实际生产，而不是闲置。对于那些希望实现生产流程现代化的工程师来说，这无疑是最简单的解决方案。