红外加热与热风加热：哪种方式更适合您的洁净室？
在为半导体加工选择烤箱时，其实只需要考虑一个因素：如何传递热量。大多数人会选择使用热风加热。也就是先加热水分，再通过风扇将热风吹到被加工的元件上，希望热风能均匀地覆盖整个表面。而红外加热则完全不同——它不需要借助空气来传递热量。其原理就像夏日里的阳光照射在皮肤上，能量直接从光源传递到目标物体上。
等待的时间
使用热风加热的缺点就是需要一定的等待时间。必须先让整个烤箱内部变热，才能让被加工的元件感受到热量。这无疑是个麻烦的问题。对于那些需要精确控制处理时间的场景来说，这种等待时间简直就是致命的瓶颈。
而红外加热则完全不同。它几乎可以立即将热量传递到目标物体上。我们见过，原本需要几分钟才能达到的加热效果，现在几秒钟就能实现。无需等待空气“稳定下来”。只要打开设备，它立刻就能开始工作。
权衡利弊（因为没有完美的事物）
红外加热的一个优点是可以通过精确控制来加热特定区域。你可以将热量精准地施加到晶圆上需要的地方，而不必让整个烤箱都变热。此外，由于不会向空间内释放过多热量，因此洁净室的HVAC系统也会因此受益。
不过，使用时也需要注意一些问题。红外加热需要直线传输，如果被加工的元件堆叠在一起或形状复杂，就会出现局部温度不均的情况。因此，必须确保灯具的位置准确，这样才能保证热量分布均匀。
另外，高功率的红外加热装置会在局部产生极高的温度。如果冷却系统设计不当，烤箱外壳就会变成巨大的散热器，从而影响洁净室内的温度。
选择哪种方式？
越来越多的工厂选择放弃热风加热，转而使用红外加热。因为红外加热占用的空间更小，且处理速度更快。最棒的是，无需再为加热空气而花费成本，因为这些空气最终还是会被排出去的。显然，红外加热更加合理。