晶圆加工设备用温度传感器

防止碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆安全 在那种高产量生产的工厂里，灯具熄灭无疑是一场灾难。这不仅仅意味着生产中断的问题，更会导致现场一片混乱。如果红外灯管在晶圆上方爆炸，那么到处都会是玻璃碎片和化学残留物。这样一来，整批晶圆都将被毁掉，而且还会带来很多麻烦。 我们设计的红外灯能够承受高温，这样就不...