في أرضية الإنتاج، لا توجد علامات تحذيرية تشير إلى التغيرات في درجة الحرارة أثناء عمليات تسخين الرقائق وتعديل خصائص المادة المستخدمة في طباعة الرقائق. فهذه التغيرات تظهر في شكل اختلاف في عرض الخطوط، وضعف الالتصاق بين مكونات الرقاقة، بالإضافة إلى انخفاض كفاءة الإنتاج، وكل ذلك يظهر فقط في اختبارات الأداء الكهربائي لاحقًا. لذلك، قمنا بتصميم مصابيح التسخين بالأشعة تحت الحمراء لمنع حدوث هذه التغيرات منذ البداية.
ما هو المهم في النظام؟ يعتمد النظام على مصادر ضوئية بأطوال موجية قصيرة، مع استخدام غلاف من الكوارتز الذي يسمح بتوزيع الحرارة بسرعة دون الحاجة إلى اتصال مباشر مع الرقاقة. يمكن توقع درجة حرارة ثابتة تتراوح بين ±0.1 درجة مئوية في منطقة المعالجة، بالإضافة إلى دقة تصل إلى 0.2 درجة مئوية بين كل عملية وأخرى. يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة، بحيث يتم التخلص من المواد الكيميائية بشكل فعال دون حدوث أي تغييرات في خصائص الرقاقة.
لماذا يعمل النظام بشكل جيد في الظروف الواقعية؟ أثناء عمليات التسخين، تساعد المصابيح في تحقيق تغيرات سريعة في درجة الحرارة، مما يقلل من وقت التسخين دون أن يؤثر ذلك على مكونات الرقاقة. أما في عمليات الطباعة، فإن نفس كثافة الطاقة تساعد في تحقيق نتائج مستقرة، مما يساعد في تقليل العيوب في الرقاقة.
المزايا العملية: يمكن الحصول على أداء موثوق به على مدار 24 ساعة في اليوم، مع فترات صيانة محددة. كما يتم توفير الطاقة، لأن المصابيح تسخن الرقاقة مباشرة، وليس الغرفة نفسها. بالإضافة إلى ذلك، يقل الهدر في المواد، ويقل وقت الإنتاج.
التفاصيل العملية: يكون إشعاع المصابيح في نفس خط الرؤية، لذا يجب مطابقة اتجاه الرقاقة وسرعة حركتها مع خصائص الإشعاع. يتطلب ذلك فترة قصيرة من التجربة لضبط الإعدادات بشكل صحيح.
تعمل المصابيح مع واجهات SEMI القياسية، لكن تركيبها في أنظمة قديمة قد يتطلب تعديلات في منطقة التسخين وتحديث معايير العملية. يجب التخطيط بعناية لتدفق الهواء في الغرفة، والتأكد من أن أنظمة التهوية قادرة على التعامل مع الضغوط العالية أثناء عمليات التسخين.