في ورشة التصنيع، يمكن لوجود بقعة مائية واحدة بعد عملية التنظيف أن يدمر كامل الدفعة المنتجة. فالتجفيف التقليدي يؤدي إلى تفاوتات حرارية على سطح الرقاقة، وهذه التفاوتات تظهر في شكل عدم تجانس في سمك طبقة الفوتوريزست بعد عملية التسخين. لذلك، قمنا بتصميم أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء للقضاء على هذه التفاوتات منذ بدايتها.
ما هو المهم من الناحية التقنية؟ نستخدم جهازًا لإصدار أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، مع عناصر كوارتز سريعة الاستجابة، بحيث يكون تدفق الحرارة على سطح الرقاقة متساويًا، حتى على مستوى أقل من الملليمتر. وهذا يضمن توزيعًا متساويًا لدرجة الحرارة على سطح الرقاقة، ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مع إمكانية تكرار العملية بشكل مستمر، بغض النظر عن التغييرات في الأدوات أو الدفعات المنتجة.
تظل درجة الحرارة ثابتة في النطاق من 100 درجة مئوية إلى 300 درجة مئوية، بفضل نظام التحكم الدقيق، مما يضمن أن تتبع عمليات التسخين المخطط لها بدقة. تم تصميم هذه الأجهزة للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث تكون المواد المستخدمة خالية من الغازات، ولا تنتج أي جسيمات، كما أن الأسطح سهلة التنظيف دون التسبب في تلوث الغرفة.
لماذا ينجح هذا النظام في الممارسة العملية؟ في عمليات تجفيف الرقاقات ومعالجة الفوتوريزست، يعتبر التوزيع الحراري المتساوي عاملاً مهمًا لتحديد جودة المنتج. التوزيع الحراري المتساوي يقلل من العيوب في الرقاقات، ويحسن من دقة التحكم في أبعاد الرقاقة، ويقلل من النفايات.
التسخين السريع يقلل من وقت العملية دون التأثير على التوزيع الحراري، كما أن النقطة الثابتة للتسخين تقلل من الحاجة إلى إعادة العمل. استهلاك الطاقة يقل لأن الجهاز يسخن الرقاقة فقط، وليس الإطار بأكمله. الموثوقية تعتمد على مدة التشغيل المستمر، حيث تعمل الأجهزة على مدار 24 ساعة يوميًا، مع فترات صيانة محددة، دون أي توقف غير مخطط له.
إليك التفاصيل العملية: يتطلب التركيب اهتمامًا دقيقًا بالتوافق البصري وبخصائص الانبعاث الحراري للرقاقة. إذا كانت الأسطح غير متطابقة، فإن خريطة درجة الحرارة ستكون خاطئة.
يحتاج النظام إلى هواء نظيف وجاف، بالإضافة إلى إمداد ثابت بالجهد، لضمان التحكم الدقيق. يجب التخطيط لفترة تشغيل قصيرة لضبط إعدادات النظام وتحديد منطقة التسخين بناءً على حجم الرقاقة وطريقة المعالجة.
بمجرد ضبط الإعدادات، يعمل الجهاز بشكل مستقر. لكن يجب إعادة التحقق بعد أي تغيير في الغرفة، وهذا جزء من الإجراءات القياسية في الورشة.