V prostorách výroby nejsou výkyvy teploty během procesů zahřívání čipů a sušení fotorezistů označeny žádnými varovnými značkami. Projevují se jako změny šířky čar, slabá přilnavost materiálů a snížená kvalita výrobků – to se projeví až později, během elektrických testů. Naše napájecí lampy s využitím krátkovlnného NIR záření eliminují tyto výkyvy ještě předtím, než vůbec začnou.
Co je důležité uvnitř systému
Systém využívá zdroje krátkovlnného NIR záření s rychle reagujícím kvartovým obalem, který umožňuje rychlé a bezkontaktní přenos tepla do čipu. Lze očekávat rovnoměrnost teploty v celé oblasti zpracování na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je v rozmezí 0,2 °C mezi jednotlivými cykly. Profily měkkého a tvrdého zahřívání jsou udržovány pod přísnou kontrolou teploty, takže rozpouštědla mohou efektivně odejít a nevznikají žádné problémy spojené s vzájemným spojováním molekul.
Podporujeme provozy v klasifikaci čistých prostor 1–100 díky konstrukci s nízkým počtem částic: korpus lampy je utěsněn, odvětrávání je izolované a horké povrchy jsou chráněny, aby počet částic zůstal konstantní.
Proč to funguje v praxi
Během procesu zahřívání čipů dokáže lampa rychle regulovat teplotu, což zkracuje dobu zahřívání bez nadměrného zatížení součástek. V procesu litografie se tato energie převádí na konzistentní měkké a tvrdé zahřívání, což stabilizuje velikost struktury čipu a snižuje vznik nežádoucích vrstev.
Dostanete spolehlivost 24/7 s předvídatelnými intervalemi údržby. Navíc ušetříte energii, protože zdroj zahřívá samotný čip, nikoli celou komoru. To umožňuje delší provozní doby, snížení množství odpadu a zkrácení doby cyklů.
Praktické detaily
Výstup NIR lampy je orientován podle linie vidění, proto je potřeba sladit orientaci čipu a rychlost pohybu stolu s profillem světla. Očekávejte krátký proces kalibrace.
Lampa funguje s běžnými rozhraními SEMI, ale její instalace v starších zařízeních může vyžadovat úpravy termické oblasti a aktualizaci parametrů procesu. Plánujte správné uspořádání proudu vzduchu v čisté místnosti a ujistěte se, že vaše odvětrávací systémy dokážou zvládnout maximální nároky během procesu zahřívání.