http://ir-heat-ultra.com/cs/tags/odpa%C5%99ova%C4%8D/ Recent content in Odpařovač on Ultra-Performance IR Heating Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/cs/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/cs/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Topná lampa výparníku Evatec"></p> <p>Na výrobní podlaze není pečení fotoresistu jen dalším krokem – je to hranice tolerance. Posun o 2°C při soft bake nebo hard bake změní CD bias, nakloní profil boční stěny a způsobí překročení počtu částic mimo specifikaci. Evatec topná lampa pro evaporátor je navržena tak, aby tato tepelná hranice byla přesně udržena.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Lampy Evatec vyzařují rychlou a čistou infračervenou energii s úzkou uniformitou na úrovni waferu, takže soft bake i hard bake zůstávají opakovatelné. Konstrukce je zaměřena na stabilní teplotu – ve spojení s odpovídajícím senzorem a regulační smyčkou dosahujete ±0,1°C v celé oblasti pečení, čímž se tepelný rozpočet drží v limitech lithografického stacku.<br> K dispozici jsou varianty krátkovlnné i středněvlnné, které odpovídají absorpci v photoresistu a vrstvě pod ním, což snižuje odrazivost a tepelný zpoždění. Konstrukce je připravena pro čisté prostory třídy 1–100, materiály a geometrie jsou voleny tak, aby minimalizovaly tvorbu částic a outgassing. V produkci je konstrukce určena pro nepřetržitý provoz 24/7, s dokumentovanou životností přes 5 000 hodin a výstupním <a href="https://henruite.com">posunem</a> udržovaným v jednotkách procent.</p>