In der Fertigungsstätte ist eine Temperaturänderung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists keineswegs ein „kleiner Fehler“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Verlust an Produktionsqualität. Die Temperaturen für den Weich- und Harttrocknungsprozess bestimmen das für den Prozess notwendige Temperaturfenster. Wenn die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche nicht mehr gewährleistet ist, ändert sich auch die Selektivität beim Ätzen. Die Verbesserung der Heizung in der Reinraumumgebung ist also keine kosmetische Maßnahme – es geht dabei um die Kontrolle des Prozesses.
Wir haben dieses System so konzipiert, dass es mit NIR-gesteuerter Quarzheizung sowie geschlossener Regelung arbeitet. Dadurch wird eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1 °C erreicht. Das System behält die eingestellten Werte während des Weich- und Harttrocknungsprozesses bei – dadurch bleiben der Fluss des Photoresists, die restlichen Lösungsmittel sowie die Dichte der Verbindungen im Rahmen der Spezifikationen.
Das System eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100. Dabei werden Materialien mit geringem Partikelgehalt verwendet, außerdem sorgt ein spezieller Abluftweg dafür, dass die Partikelanzahl während der thermischen Prozesse niedrig bleibt. Die Zuverlässigkeit des Systems wird durch eine 24/7-Nutzbarkeit unter Berücksichtigung geplanter Wartungsarbeiten gemessen – ohne unplanmäßige Stillstände.
Warum funktioniert das in der Praxis? Eine genauere Kontrolle der Trocknungsbedingungen führt zu einer besseren Verteilung der Temperatur auf der Waferoberfläche und reduziert somit die Notwendigkeit von Nacharbeiten. Dadurch wird eine stabile Lithografie- und Ätzenleistung erzielt, da der Prozess nicht mehr gegen sich selbst arbeitet.
Was betrifft den Energieverbrauch: Der Heizer erreicht die gewünschte Temperatur schnell, hält sie konstant und verringert somit den Energiebedarf pro Charge. Das bedeutet weniger Ausfälle, kürzere Prozesszeiten und weniger Ausschuss – ohne dass sich die chemischen Eigenschaften des Photoresists oder der gesamten Anlage ändern müssen.
Bei der Installation sollten Sie darauf achten, dass die Abmessungen des Gehäuses, die Abluftanlagen sowie die Stromanschlüsse übereinstimmen. Zudem sollten Sie die Spannungs- und Anschlussdaten mit denen Ihrer vorhandenen Geräte abgleichen. Das System ist zwar in Standard-Fertigungsanlagen integrierbar, doch es benötigt eine stabile Stromversorgung, damit die Temperaturstabilität gewährleistet bleibt.
Erwarten Sie eine kurze Einrichtungsphase, in der die Parameter des Prozesses an Ihre speziellen Bedürfnisse angepasst werden. Nach einigen Anpassungen kann das System dann direkt in Betrieb genommen werden.