In der Fertigungshalle zeigen sich Temperatur Schwankungen während des Burn-in-Vorgangs sowie beim Trocknen des Fotolacks nicht durch Warnsignale an. Stattdessen äußern sie sich in einer Veränderung der Linienbreite, schwacher Haftung sowie einem Rückgang der Produktqualität – dies wird erst bei den elektrischen Testungen offensichtlich. Wir haben unsere NIR-Heizlampen so konstruiert, dass diese solche Schwankungen bereits im Vorfeld verhindern.
Was wirklich wichtig ist
Das System nutzt kurzwellige NIR-Quellen mit einer schnell reagierenden Quarzkapsel, wodurch die Wärme schnell und ohne Kontakt auf das Wafer übertragen wird. Es wird eine Konstanz der Temperatur von ±0,1 °C innerhalb der Prozesszone erwartet, außerdem eine Wiederholgenauigkeit von 0,2 °C zwischen den verschiedenen Versuchen. Die Profile für den weichen bzw. harten Trocknungsprozess werden durch strenge Kontrolle der thermischen Bedingungen stabil gehalten. Dadurch können Lösungsmittel richtig abgebaut werden, ohne dass es zu Netzstrukturen kommt.
Wir unterstützen Reinräume der Klasse 1–100 mit einer Architektur, die wenig Partikel erzeugt: Die Lampe ist versiegelt, der Abzug ist isoliert und die heißen Oberflächen sind geschützt, damit die Partikelzahl konstant bleibt.
Warum das System in der Praxis funktioniert
Während des Burn-in-Vorgangs ermöglicht die Lampe schnelle Temperaturänderungen, wodurch die Zeit, die das Wafer in der Hitze verbringt, reduziert wird, ohne dass dadurch die Verbindungen zwischen den Komponenten belastet werden. Im Lithografieverfahren führt dieselbe Energiedichte zu einem konstanteren Trocknungsprozess, was wiederum dazu beiträgt, Unreinheiten zu vermeiden.
Man erhält somit 24/7 Zuverlässigkeit sowie vorhersehbare Wartungsfenster. Zudem wird Energie eingespart, da die Lampe das Zielobjekt erwärmt und nicht den ganzen Raum. Dadurch werden die Prozesszeiten verkürzt und der Ausschuss reduziert.
Praktische Details
Die Leistung der NIR-Lampe erfolgt in Richtung des Lichtstrahls – daher muss die Ausrichtung des Wafer sowie die Geschwindigkeit des Transportbands auf das Profil des Lichtstrahls abgestimmt werden. Für eine genaue Kalibrierung ist eine kurze Einrichtungsphase erforderlich.
Die Lampe arbeitet mit standardmäßigen SEMI-Schnittstellen. Dennoch kann ihre Installation in bestehenden Anlagen dazu führen, dass die thermischen Bedingungen angepasst sowie die Parameter der Prozessvorgänge aktualisiert werden müssen. Planen Sie sorgfältig den Luftstrom in Ihrem Reinraum und stellen Sie sicher, dass der Abzug die höchsten Belastungen während des Prozesses bewältigen kann.