http://ir-heat-ultra.com/de/tags/aktualisierungen/ Recent content in Aktualisierungen on Ultra-Performance IR Heating Hugo de Sun, 28 Jun 2026 05:31:21 +0800 http://ir-heat-ultra.com/de/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 28 Jun 2026 05:31:21 +0800 http://ir-heat-ultra.com/de/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Aufrüstung der Ausrüstung für Reinraumbetriebe"></p> <p>In der Fertigungsstätte ist eine Temperaturänderung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists keineswegs ein „kleiner Fehler“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Verlust an Produktionsqualität. Die Temperaturen für den Weich- und Harttrocknungsprozess bestimmen das für den Prozess notwendige Temperaturfenster. Wenn die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche nicht mehr gewährleistet ist, ändert sich auch die Selektivität beim Ätzen. Die Verbesserung der Heizung in der Reinraumumgebung ist also keine kosmetische Maßnahme – es geht dabei um die Kontrolle des Prozesses.</p>