Evatec Verdampfer Heizlampe

Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800

Auf der Fertigungsebene ist das Backen von Photoresist nicht nur ein weiterer Schritt – es markiert die Grenze des Toleranzfensters. Eine Abweichung von 2°C beim Softbake oder Hardbake verändert den CD-Bias, neigt das Seitenwandprofil und lässt die Partikelanzahl außerhalb der Spezifikation liegen. Die Evatec Verdampfer-Heizlampe ist so konstruiert, dass diese thermische Grenze präzise eingehalten wird.

Technisch relevant Die Lampen von Evatec liefern schnell und sauber Infrarotenergie mit hoher Wafer-gleichmäßigkeit, sodass Softbake und Hardbake reproduzierbar bleiben. Das Design zielt auf eine stabile Temperatur ab – in Kombination mit einem abgestimmten Sensor und Regelkreis liegt die Temperaturabweichung bei ±0,1°C über die gesamte Backzone, wodurch das thermische Budget innerhalb der Grenzwerte des Lithografie-Stacks bleibt.
Es stehen Kurz- und Mittelwellen-Optionen zur Verfügung, die auf die Absorption im Photoresist und im darunterliegenden Stack abgestimmt sind, was Reflexionsschwankungen und thermische Verzögerungen reduziert. Das Design ist für Reinraumklassen von 1 bis 100 ausgelegt, mit Materialien und Geometrien, die Partikelbildung und Ausgasung vermeiden. Im Produktionsbetrieb ist die Lampe für den 24/7-Betrieb ausgelegt und dokumentiert, dass sie über 5.000 Stunden läuft, wobei die Ausgangsleistung innerhalb einstelliger Prozentabweichungen bleibt.

Evatec on Ultra-Performance IR Heating

Evatec Verdampfer Heizlampe