Einführung Stellen Sie sich vor: Sie betreiben eine Vakuumkammer mit hohem Aufwand – und plötzlich geht eine der Heizlampen kaputt. Dadurch kommt die...

Auf der Linie kommt ein Wafer vom Spin-Coater und das Photoresist muss schnell gesetzt werden - ohne heiße/kalte Stellen. Ein paar Grad Abweichung...