Reducción de las emisiones de carbono en los procesos de calentamiento: todo se trata de dónde va el calor
En las fábricas de semiconductores, la precisión es lo más importante. Pero durante mucho tiempo, hemos dependido de calentadores resistentes tradicionales, que funcionan como grandes calefactores: sí, calientan la oblea, pero también desperdician mucha energía al calentar todo el chasis de la máquina.
Estamos dejando atrás ese método. El paso hacia el uso de calentamiento por infrarrojos es bastante sencillo: se logra alcanzar la temperatura deseada más rápidamente, sin tener que calentar el aire circundante.
Por qué el recubrimiento es importante
Puede tener la mejor lámpara de calentamiento del mundo, pero no sirve de nada si no cuenta con un recubrimiento adecuado. Construimos nuestros recubrimientos con acero inoxidable de alta calidad, ya que puede soportar las constantes expansiones y contracciones causadas por los ciclos térmicos sin deformarse.
Pero no se trata solo de la durabilidad. El recubrimiento también funciona como un espejo: calculamos cuidadosamente la curva parabólica de la chapa de acero para que los rayos infrarrojos lleguen directamente a la oblea. De esta manera, el calor no se dispersa en toda la sala limpia. Y aquí está el verdadero beneficio: cuando la sala se mantiene más fría, el sistema de climatización no tiene que esforzarse tanto para bajarla de temperatura. Es así como realmente se reduce la huella de carbono.
Dejen de desperdiciar kilovatios
El calor por infrarrojos es diferente. Se trata de calor radiante. En lugar de calentar el aire y esperar que ese calor llegue finalmente a la oblea, el calor por infrarrojos llega directamente al objetivo. Diseñamos estos sistemas para eliminar el tiempo necesario para que la herramienta alcance su temperatura ideal. Cuanto menos tiempo pase la herramienta en estado de espera, menos kilovatios se gastarán por cada oblea. Es simplemente más eficiente.
La dificultad: manejar el calor
Ahora bien, existe un equilibrio que debe mantenerse. Los arrays de infrarrojos de alta densidad generan calor intenso y localizado. Incluso con un recubrimiento de acero inoxidable que refleja la mayor parte de la energía, la parte trasera del dispositivo sigue sufriendo. No se puede simplemente colocar estos dispositivos en un marco antiguo y esperar lo mejor. Hay que asegurarse de que los sistemas de enfriamiento puedan manejar esa carga concentrada en los puntos de montaje.
La precisión es clave aquí. Si el recubrimiento no está fabricado con tolerancias estrictas, se crean puntos calientes. Y los puntos calientes significan un calentamiento desigual, lo que suele llevar a que muchas obleas queden dañadas.
Por eso prestamos tanta atención a la integridad de las soldaduras y al acabado de la superficie. Esto permite que la reflexión sea constante a lo largo de miles de ciclos, de modo que no haya dudas sobre si el lote resultará correcto.