Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:17:27 +0800

Una forma mejor de secar las obleas MEMS

Seamos honestos: secar las obleas de sensores MEMS es un verdadero problema. Es necesario eliminar toda la humedad, pero no se puede dejar ningún residuo detrás, y definitivamente no se debe someter el material a fluctuaciones extremas de temperatura. Durante mucho tiempo, simplemente las colocábamos en hornos de convección, confiando en que todo saldría bien. Pero existe una forma mucho más eficiente de hacerlo.

Calentador de secado de obleas MEMS

Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800

En el suelo de la fábrica, el wafer sale del enjuague final—y comienza el reloj. Si el calentador de secado no puede mantenerse al día, se genera humedad atrapada bajo el fotoresistente, que se manifiesta horas después como defectos en la litografía. Construimos nuestros calentadores de secado de wafers MEMS para eliminar ese riesgo desde la fuente: calor constante, ciclo tras ciclo, sin interrupciones.

Lo que importa bajo el capó

Utilizamos emisores de infrarrojo de onda corta sintonizados al perfil de absorción del agua y los disolventes comunes, de modo que la superficie se calienta de manera rápida y directa. La uniformidad de temperatura en todo el wafer se mantiene dentro de ±0.1°C, lo que protege el control de dimensiones críticas del fotoresistente durante el horneado suave y el horneado duro. El cuerpo del calentador es de cuarzo y acero inoxidable, diseñado para operar en salas limpias de Clase 1–100 con generación de partículas cero.
El objetivo es la repetibilidad bajo control: los puntos de ajuste se mantienen, las rampas se repiten y el presupuesto térmico por lote se mantiene dentro de las especificaciones.

MEMS on Ultra-Performance IR Heating

Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Una forma mejor de secar las obleas MEMS

Calentador de secado de obleas MEMS

Lo que importa bajo el capó