در کارخانههای تولید، اختلاف دمایی ۰.۳ درجه سانتیگراد در فرآیند حرارتدهی فوتورزیست، خطای جزئی محسوب نمیشود؛ بلکه باعث کاهش بازده تولید میشود. دماهای مورد نیاز برای فرآیندهای حرارتدهی، محدودههای لازم برای کنترل ابعاد قطعات را تعیین میکنند؛ و هنگامی که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر از بین برود، انتخابی بودن فرآیند حکاکی نیز از بین میرود. بهبود سیستم گرمایشی اتاقهای تمیز، صرفاً یک اقدام ظاهری نیست؛ بلکه بخشی از کنترل فرآیند تولید است.
ما این سیستم را با استفاده از گرمایش کوارتزی کنترلشده توسط سیستم NIR طراحی کردیم؛ هدف ما، دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد بود. این سیستم، یکنواختی دمایی را در فرآیندهای حرارتدهی مختلف حفظ میکند؛ بنابراین جریان فوتورزیست، مقدار حلالهای باقیمانده و تراکم پیوندهای شیمیایی نیز در محدوده مشخصی باقی میماند.
این سیستم، اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ را نیز پشتیبانی میکند؛ همچنین از موادی با ذرات کم استفاده میکند و مسیر تخلیه هوا نیز باعث کاهش تعداد ذرات در طول چرخههای حرارتی میشود. قابلیت اطمینان این سیستم، از طریق عملکرد ۲۴/۷ آن و وجود زمانهای مشخص برای تعمیرات، مشخص میشود.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ کنترل دقیق دما، باعث یکنواختی ابعاد قطعات و کاهش کارهای تکراری میشود؛ همچنین عملکرد لیتوگرافی و حکاکی نیز پایدار خواهد بود، زیرا فرآیند دیگر با مشکلاتی روبرو نمیشود.
در مورد مصرف انرژی نیز، این سیستم به سرعت دمای مورد نظر را به دست میآورد، آن را حفظ میکند و مصرف انرژی برای هر دسته از قطعات را کاهش میدهد؛ این امر منجر به کاهش تعداد بارهای تولید، سرعت بیشتر چرخههای تولید و کاهش مواد باقیمانده میشود، بدون اینکه شرایط شیمیایی یا ساختار قطعات تغییر کند.
نکاتی که باید در هنگام نصب در نظر گرفت: باید ابعاد اتاق، سیستم تخلیه هوا و ورودیهای انرژی با سیستم موجود هماهنگ باشد؛ همچنین باید ولتاژ و مشخصات کانکتورها نیز با سیستم موجود مطابقت داشته باشد. این سیستم با سیستمهای استاندارد کارخانههای تولید سازگار است؛ اما برای حفظ یکنواختی دما، نیاز به منبع انرژی پاک دارد.
انتظار داشته باشید که برای تنظیم سرعت فرآیندهای حرارتی، نیاز به یک آزمایش کوتاه باشد؛ پس از آن، سیستم به راحتی کار خواهد کرد.