http://ir-heat-ultra.com/fa/tags/%D8%AA%D8%AC%D9%87%DB%8C%D8%B2%D8%A7%D8%AA/ Recent content in تجهیزات on Ultra-Performance IR Heating Hugo fa Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800 http://ir-heat-ultra.com/fa/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800 http://ir-heat-ultra.com/fa/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="بهروزرسانی تجهیزات اتاقهای پاک در کارخانه"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، اختلاف دمایی ۰.۳ درجه سانتی‌گراد در فرآیند حرارت‌دهی فوتورزیست، خطای جزئی محسوب نمی‌شود؛ بلکه باعث کاهش بازده تولید می‌شود. دماهای مورد نیاز برای فرآیندهای حرارت‌دهی، محدوده‌های لازم برای کنترل ابعاد قطعات را تعیین می‌کنند؛ و هنگامی که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر از بین برود، انتخابی بودن فرآیند حکاکی نیز از بین می‌رود. بهبود سیستم گرمایشی اتاق‌های تمیز، صرفاً یک اقدام ظاهری نیست؛ بلکه بخشی از کنترل فرآیند تولید است.</p> <p>ما این سیستم را با استفاده از گرمایش کوارتزی کنترل‌شده توسط سیستم NIR طراحی کردیم؛ هدف ما، دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد بود. این سیستم، یکنواختی دمایی را در فرآیندهای حرارت‌دهی مختلف حفظ می‌کند؛ بنابراین جریان فوتورزیست، مقدار حلال‌های باقی‌مانده و تراکم پیوندهای شیمیایی نیز در محدوده مشخصی باقی می‌ماند.</p>