http://ir-heat-ultra.com/fa/tags/%D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%85%DA%A9%D8%A7%D9%86%DB%8C%DA%A9%DB%8C-%D8%B3%DB%8C%D8%B3%D8%AA%D9%85%D9%87%D8%A7/ Recent content in میکروالکترومکانیکی سیستمها on Ultra-Performance IR Heating Hugo fa Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/fa/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/fa/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="کوره خشککن ویفر MEMS"></p> <p>در کف کارخانه، ویفر از شستشوی نهایی خارج می‌شود و زمان شروع می‌شود. اگر گرم‌کن خشک‌کن نتواند به سرعت پیش برود، رطوبت زیر فوتورزیست محبوس می‌شود و چند ساعت بعد به‌عنوان نقص در لیتوگرافی ظاهر می‌شود. ما بخاری‌های خشک‌کن ویفر MEMS خود را ساختیم تا این ریسک را از منبع حذف کنیم: حرارت یکنواخت، چرخه به چرخه، بدون اختلال.</p> <h2 id="چه-چیزی-در-زیر-پوسته-مهم-است">چه چیزی در زیر پوسته مهم است</h2> <p>ما از تابش‌کننده‌های مادون قرمز کوتاه‌موج استفاده می‌کنیم که به پروفایل جذب آب و حلال‌های رایج تنظیم شده‌اند، بنابراین سطح به‌سرعت و به‌طور مستقیم گرم می‌شود. یکنواختی دما در سراسر ویفر در ±0.1°C حفظ می‌شود که کنترل ابعاد بحرانی فوتورزیست را در حین پخت نرم و پخت سخت محافظت می‌کند. بدنه بخاری از کوارتز و استیل ضدزنگ ساخته شده است و برای کار در اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده که هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند.</p>