Lampe de chauffage de l évaporateur Evatec

Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800

Sur le plancher de fabrication, le recuit du photoresist n’est pas une étape comme une autre — c’est la limite de la fenêtre de tolérance. Une dérive de 2°C lors du pré-recuit ou du post-recuit modifie le biais de CD, incline le profil de la paroi latérale et fait dépasser le nombre de particules hors spécifications. La lampe de chauffage de l’évaporateur Evatec est conçue pour maintenir cette frontière thermique parfaitement stable.

Ce qui importe, techniquement
Les lampes Evatec délivrent rapidement une énergie infrarouge propre avec une uniformité serrée au niveau de la tranche, garantissant la répétabilité du pré-recuit et du post-recuit. Le design vise une température stable — associée à un capteur adapté et une boucle de contrôle, vous obtenez une précision de ±0,1°C sur toute la zone de recuit, ce qui maintient le budget thermique dans les limites empilées de la lithographie.
Vous disposez d’options à ondes courtes et moyennes pour s’adapter à l’absorption dans le photoresist et la pile sous-jacente, ce qui réduit les variations de réflectivité et le décalage thermique. La conception est prête pour salle blanche Classe 1–100, avec des matériaux et une géométrie choisis pour minimiser la génération de particules et l’émission de gaz. En production, elle est conçue pour un fonctionnement 24/7, avec une durée documentée au-delà de 5 000 heures et une dérive de puissance maintenue en pourcentage à un chiffre unique.

Évaporateur on Ultra-Performance IR Heating

Lampe de chauffage de l évaporateur Evatec