בחדר הייצור, שינויי הטמפרטורה במהלך תהליכי החימום של הוופרים ותהליכי האפייה של הפוטורזיסט לא מסומנים באופן ברור. הם באים לידי ביטוי בשינויים ברוחב הקווים, באחיזה חלשה של החומרים על הוופר, ובירידה באיכות המוצר – דברים שניתן לגלות רק בשלבי הבדיקות החשמליות. ייצרנו את נורות החימום באמצעות טכנולוגיית NIR, כדי למנוע שינויים אלו עוד לפני שהם מתחילים.
מה חשוב בפועל? המערכת משתמשת במקורות אור בגלי אורך קצר, עם מעטפת קוורץ שמאפשרת העברה מהירה של חום לוופר, ללא צורך במגע פיזי. ניתן לצפות לאחידות של ±0.1°C בכל אזור העיבוד, ולשגרתיות של 0.2°C בין כל פעולה לאחרת. תהליכי האפייה נשלטים בצורה קפדנית, כך שהחומרים יכולים להתאדות בצורה יעילה, מבלי להישאר בוופר.
למה זה עובד בפועל? בתהליכי החימום, הנורה מאפשרת שינויי טמפרטורה מהירים, מבלי לגרום ללחץ על החיבורים בוופר. בתהליכי האפייה, אותה עוצמת אנרגיה מאפשרת אפייה אחידה, מה שמסייע לייצור מוצרים איכותיים.
היתרונות: ניתן לקבל אמינות 24/7, עם זמני תחזוקה צפויים. בנוסף, ניתן לחסוך אנרגיה, מכיוון שהמקור מחמם את הוופר עצמו, ולא את כל חדר הייצור. זה מאפשר זמני עיבוד קצרים יותר, וירידה בכמות הפסולת.
פרטים טכניים: אור הנורה יוצא בקו ראייה, כך שיש צורך להתאים את כיוון הוופר ואת מהירות התנועה שלו לפרופיל האור. ניתן לצפות לזמן תקנה קצר כדי להתאים את המערכת.
הנורה עובדת עם יישומים סטנדרטיים של SEMI, אך התקנתה במערכות ישנות עשויה לדרוש שינויים במערכת החימום ובפרמטרים של התהליך. יש לתכנן את זרימת האוויר בחדר הייצור, ולוודא שהמערכת יכולה לעמוד בעומסים הגבוהים במהלך התהליך.