נורת חימום לאידוי של Evatec

על רצפת המפעל, אפיית הפוטורזיסט היא לא רק שלב נוסף—זו קצה חלון הסבילות. סטייה של 2°C באפיית סופט או אפיית הארד תגרום לשינוי ב-CD bias, הטיית פרופיל...