http://ir-heat-ultra.com/he/tags/%D7%90%D7%95%D7%95%D7%98%D7%A7/ Recent content in אווטק on Ultra-Performance IR Heating Hugo he Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/he/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/he/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="נורת חימום לאידוי של Evatec"></p> <h1 id="על-רצפת-המפעל-אפיית-הפוטורזיסט-היא-לא-רק-שלב-נוסףזו-קצה-חלון-הסבילות-סטייה-של-2c-באפיית-סופט-או-אפיית-הארד-תגרום-לשינוי-ב-cd-bias-הטיית-פרופיל-דופן-הצד-ותוביל-לספירות-חלקיקים-שאינן-בתוך-המפרט-מנורת-החימום-של-מאייד-evatec-בנויה-לשמור-על-הגבול-התרמי-הזה-במדויק">על רצפת המפעל, אפיית הפוטורזיסט היא לא רק שלב נוסף—זו קצה חלון הסבילות. סטייה של 2°C באפיית סופט או אפיית הארד תגרום לשינוי ב-CD bias, הטיית פרופיל דופן הצד, ותוביל לספירות חלקיקים שאינן בתוך המפרט. מנורת החימום של מאייד Evatec בנויה לשמור על הגבול התרמי הזה במדויק.</h1> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> המנורות של Evatec מפיקות אנרגיית אינפרא-אדום מהירה ונקייה עם אחידות ברמת הפרוסה, כך שאפיית סופט וארד נשמרות כניתנות לשחזור. התכנון מתמקד בטמפרטורה יציבה—עם חיישן תואם ולולאת בקרה, הטמפרטורה נשארת בטווח ±0.1°C לאורך אזור האפייה, ושומרת על תקציב חום בתוך גבולות ערימת הליתוגרפיה.<br> קיימות אפשרויות גל קצר וגל בינוני להתאמה לספיגת הפוטורזיסט והערימה שמתחתיו, מה שמצמצם תנודות ברפלקטיביות ועיכוב תרמי. המבנה מתאים לחדרים נקיים בדרגות Class 1–100, עם חומרים וגיאומטריה שנבחרו כדי למנוע יצירת חלקיקים ופליטת גזים. בייצור, המערכת מתוכננת לפעולה רציפה 24/7, ומתועדת לעבודה מעל 5,000 שעות עם סטיית תפוקה המוגבלת לאחוזים בודדים.</p>