http://ir-heat-ultra.com/he/tags/%D7%A4%D7%A8%D7%95%D7%A1%D7%AA-%D7%A1%D7%99%D7%9C%D7%99%D7%A7%D7%95%D7%9F/ Recent content in פרוסת סיליקון on Ultra-Performance IR Heating Hugo he Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/he/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/he/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מחמם ייבוש ופר של MEMS"></p> <p>בקומת הייצור, הוופר יוצא מהשטיפה הסופית – והשעון מתחיל. אם גוף החימום לייבוש לא עומד בקצב, נלכד לחות מתחת לפוטורזיסט, וזה מתבטא שעות אחר כך כתקלות בליתוגרפיה. בנינו את גופי החימום לייבוש וופרים MEMS כדי לבטל סיכון זה במקור: חום יציב, מחזור אחרי מחזור, ללא הפרעות.</p> <h2 id="מה-חשוב-מתחת-למכסה-המנוע">מה חשוב מתחת למכסה המנוע</h2> <p>אנחנו מפעילים משדרי אינפרא-אדום בגל קצר המתואמים לפרופיל הספיגה של מים וממסים נפוצים, כך שהמשטח מתחמם מהר ובאופן ישיר. אחידות הטמפרטורה על פני הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, מה שמגן על בקרת הממדים הקריטיים של הפוטורזיסט במהלך אפיית רכה ואפיית קשה. גוף גוף החימום עשוי קוורץ ופלדת אל-חלד, מותאם לפעולה במסגרת חדר נקי Class 1–100 עם אפס פליטת חלקיקים.</p>