वेफरों की सफाई के बाद, उन पर मौजूद थोड़ा सा भी पानी उनकी गुणवत्ता को खराब कर सकता है। पारंपरिक सुखाने की प्रक्रिया से वेफरों पर तापीय असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं; ऐसी असमानताओं के कारण फोटोरेसिस्ट की मोटाई में भी असमानताएँ आ जाती हैं। हमने ऐसी असमानताओं को दूर करने हेतु इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग किया।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज तत्वों वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उत्सर्जकों का उपयोग करते हैं; इससे वेफर की सतह पर तापमान समान रहता है – लगभग ±0.1°C के भीतर। इससे वेफरों का तापमान स्थिर रहता है, और यह स्थिरता विभिन्न शिफ्टों, बैचों एवं उपकरणों में भी बनी रहती है।
100°C से 300°C तक तापमान स्थिर रहता है, क्योंकि इस प्रणाली में कड़ा नियंत्रण होता है। इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ ठीक तरह से ही होती हैं। ये हीटर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आ सकते हैं – क्योंकि इनमें कम गैस उत्सर्जन होता है, कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं सतहों को साफ करने से चेम्बर में कोई प्रदूषण नहीं फैलता।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
वेफरों के सुखाने एवं फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में तापीय समानता ही उत्पादन एवं अपशिष्टता के बीच का अंतर है। उचित तापीय प्रोफाइलों से असमानताएँ कम हो जाती हैं, जिससे उत्पादन में सुधार होता है।
तेज़ गति से तापमान बढ़ने से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं स्थिर तापमान के कारण पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि उत्सर्जक केवल लक्षित सतह को ही गर्म करते हैं, पूरे वेफर को नहीं। विश्वसनीयता के लिए, ये हीटर 24/7 काम कर सकते हैं, एवं इनकी देखभाल भी नियमित रूप से की जा सकती है।
व्यावहारिक विवरण:
स्थापना के दौरान ऑप्टिकल अनुरूपता एवं उत्सर्जकों की गुणवत्ता पर ध्यान देना आवश्यक है। यदि सतहें अनुरूप न हों, तो तापमान मान भी गलत हो जाएगा।
इस प्रणाली के लिए स्वच्छ, शुष्क हवा एवं स्थिर वोल्टेज आवश्यक है। PID सेटिंगों को समायोजित करने हेतु एक छोटा परीक्षण आवश्यक है।
एक बार सब कुछ सेट हो जाने के बाद, हीटर लगभग बिना किसी विचलन के ही काम करता है। फिर भी, प्रत्येक बार चेम्बर में परिवर्तन होने के बाद फिर से जाँच करना आवश्यक है – यह तो सामान्य प्रथा ही है।