एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

Mon, 27 Jul 2026 06:17:28 +0800

MEMS वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
ईमानदारी से कहें तो, MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना बहुत ही कठिन काम है। इनमें मौजूद नमी को हटाना आवश्यक है, लेकिन इसके साथ ही कोई अवशेष भी नहीं रहना चाहिए। साथ ही, तापमान में अचानक होने वाले बदलावों से भी सामग्री को नुकसान नहीं पहुँचना चाहिए। लंबे समय तक हम ऐसे वेफरों को साधारण ओवनों में ही सुखाते रहे। लेकिन इसका एक बेहतर तरीका है।

एमईएमएस वेफर ड्राइंग हीटर

Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800

फैब फ्लोर पर, वेफर अंतिम रिंस से बाहर आता है—और घड़ी चालू हो जाती है। अगर ड्रायिंग हीटर साथ नहीं दे पाता, तो फोटोरेसिस्ट के नीचे नमी फंसी रहती है, जो घंटों बाद लिथोग्राफी में दोष के रूप में सामने आती है। हमने अपने MEMS वेफर ड्रायिंग हीटर्स को इस जोखिम को सीधे स्रोत पर खत्म करने के लिए बनाया है: लगातार गर्मी, हर साइकल में, बिना किसी व्यवधान के।

मोटर के नीचे महत्वपूर्ण क्या है

हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड इमिटर चलाते हैं जो पानी और सामान्य सॉल्वेंट्स के अवशोषण प्रोफ़ाइल के अनुसार ट्यून किए गए होते हैं, जिससे सतह तेज़ और सीधे तौर पर गर्म होती है। वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर रहती है, जो सॉफ्ट और हार्ड बेक के दौरान फोटोरेसिस्ट के महत्वपूर्ण आयाम नियंत्रण की रक्षा करती है। हीटर बॉडी क्वार्ट्ज और स्टेनलेस की बनी होती है, क्लीनरूम क्लास 1–100 ऑपरेशन के लिए डिज़ाइन की गई है, और शून्य कण उत्पादन सुनिश्चित करती है।
मुद्दे की बात है नियंत्रण में दोहराविता: सेटप्वाइंट्स स्थिर रहते हैं, रैम्प्स दोहराए जाते हैं, और प्रति बैच थर्मल बजट विनिर्देश के भीतर रहता है।

एमईएमएस on Ultra-Performance IR Heating

एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

एमईएमएस वेफर ड्राइंग हीटर

मोटर के नीचे महत्वपूर्ण क्या है